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上海同芯构技术有限公司吉华获国家专利权

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龙图腾网获悉上海同芯构技术有限公司申请的专利一种大尺寸溅射靶材用靶背板钎焊工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223544301U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423149687.3,技术领域涉及:B23K3/08;该实用新型一种大尺寸溅射靶材用靶背板钎焊工装是由吉华;张哲;王天宇;吴金鹏;路卫卫设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种大尺寸溅射靶材用靶背板钎焊工装在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种大尺寸溅射靶材用靶背板钎焊工装,属于半导体大尺寸靶背板钎焊技术领域。该种大尺寸溅射靶材用靶背板钎焊工装,包括主体,主体包括底座和上盖,底座的上端面安装有外圈支撑座,且底座的顶面安装有若干内圈支撑座,上盖上设有外圈紧固调整机构,外圈紧固调整机构包括若干第一螺杆,若干第一螺杆的底端均连接有外圈压块,若干外圈压块的底端设有外圈压环,外圈压环位于外圈支撑座的正上方,且上盖上设有内圈紧固调整机构,内圈紧固调整机构包括若干第二螺杆,若干第二螺杆的底端均连接有若干内圈压块,本实用新型能有效实现多规格产品的兼容,并能控制装配间隙,提高钎焊质量,具有较高的实用价值。

本实用新型一种大尺寸溅射靶材用靶背板钎焊工装在权利要求书中公布了:1.一种大尺寸溅射靶材用靶背板钎焊工装,其特征在于,包括主体100,所述主体100包括底座1001和上盖1002,所述底座1001的上端面安装有外圈支撑座1003,且所述底座1001的顶面安装有若干内圈支撑座1004,所述上盖1002上设有外圈紧固调整机构200,所述外圈紧固调整机构200包括若干第一螺杆2001,若干所述第一螺杆2001的底端均连接有外圈压块2002,若干所述外圈压块2002的底端设有外圈压环2003,所述外圈压环2003位于外圈支撑座1003的正上方,且所述上盖1002上设有内圈紧固调整机构300,所述内圈紧固调整机构300包括若干第二螺杆3001,若干所述第二螺杆3001的底端均连接有若干内圈压块3002,若干所述内圈压块3002分别位于若干内圈支撑座1004的正上方。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海同芯构技术有限公司,其通讯地址为:201900 上海市宝山区梅林路358号13幢B0616室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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