中国科学技术大学胡广月获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种基于吸收谱线的多波长极紫外台式化光源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118836979B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410921963.9，技术领域涉及：G01J3/10；该发明授权一种基于吸收谱线的多波长极紫外台式化光源是由胡广月设计研发完成，并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于吸收谱线的多波长极紫外台式化光源在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于吸收谱线的多波长极紫外台式化光源，涉及特种光源技术领域。本发明利用高功率激光烧蚀高原子序数的靶材料产生极紫外波段的连续谱发光，经收集镜收集后穿过中性气体或电离气体产生单色性非常好的多波长吸收谱线，用于极紫外波段仪器设备的光谱定标，可以在10～120nm波段产生线谱单色性达到6×10‑5的、多个波长的高亮度台式化光源。本发明通过调整激光功率在mW甚至100W范围内调节，这种各向同性发射的点状非相干光源可以很容易扩束到数十厘米口径，满足各种设备和仪器的光谱定标要求。
本发明授权一种基于吸收谱线的多波长极紫外台式化光源在权利要求书中公布了：1.一种基于吸收谱线的多波长极紫外台式化光源，包括建立高功率激光a1与靶目标位置7之间形成光束路径的光学元件；其特征在于： 朝向所述靶目标位置7连续释放所述高功率激光a1，驱动所述靶目标位置7上的高原子序数固体靶产生极紫外波段的连续谱发光； 产生极紫外波段的所述连续谱发光被近掠入射的第一收集镜8和第二收集镜12收集； 其中，用于光谱定标的一路光束通过所述第一收集镜8聚焦在一具有产生吸收谱线的气体所在的第一腔体通道中，穿过所述气体的第一腔体通道后的具有吸收谱线的光束通过一近掠入射的第三收集镜10收集至出光口11； 产生吸收谱线的所述气体包括中性气体9a或通过电离中性气体9a产生电离气体9b、或通过激光烧蚀固体或液体靶产生电离气体9b； 其中，另一路光束通过所述第二收集镜12收集的光经过第二腔体通道中一光栅13分光后进入用于记录光谱的探测器14； 位于所述高功率激光a1进入所述靶目标位置7至出光口11的光束路径和至探测器14的光束路径均建立具有真空系统15的腔室空间。
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