日本碍子株式会社竹林央史获国家专利权
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龙图腾网获悉日本碍子株式会社申请的专利晶片载置台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115705986B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210872589.9，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权晶片载置台是由竹林央史;久野达也;井上靖也设计研发完成，并于2022-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片载置台在说明书摘要公布了：本发明提供晶片载置台，能够兼顾在高温下对晶片进行处理和从晶片高效地进行散热。晶片载置台10具备陶瓷基材20、第一冷却基材30和第二冷却基材50。陶瓷基材20具有晶片载置面22a，内置有晶片吸附用电极25和加热器电极26。第一冷却基材30经由金属接合层40接合于陶瓷基材20中的与晶片载置面22a相反侧的面，具有能够切换第一制冷剂的供给和供给停止的第一制冷剂流路31。第二冷却基材50隔着能够供给传热气体的空间层42安装于第一冷却基材30中的与金属接合层40相反侧的面，具有能够切换第二制冷剂的供给和供给停止的第二制冷剂流路51。
本发明授权晶片载置台在权利要求书中公布了：1.一种晶片载置台，具备： 陶瓷基材，其具有晶片载置面，内置有静电电极和加热器电极； 第一冷却基材，其经由金属接合层而接合于所述陶瓷基材中的与所述晶片载置面相反侧的面上，具有能够切换第一制冷剂的供给和供给停止的第一制冷剂流路；以及 第二冷却基材，其隔着能够供给传热气体的空间层而安装在所述第一冷却基材中的与所述金属接合层相反侧的面上，具有能够与第一制冷剂的供给和供给停止独立地切换第二制冷剂的供给和供给停止的第二制冷剂流路， 所述第一制冷剂流路与所述第二制冷剂流路不连通， 所述第二制冷剂与所述第一制冷剂不同。
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