长鑫存储技术有限公司李迪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种计量标准器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115704677B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110932981.3，技术领域涉及：G01B21/04；该发明授权一种计量标准器及其制备方法是由李迪设计研发完成，并于2021-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种计量标准器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种计量标准器，包括：晶圆载体；校准用微纳尺度标准片；所述晶圆载体上设有凹槽结构；所述校准用微纳尺度标准片可拆卸地固定在所述凹槽结构内。本申请计量标准器中的校准用微纳尺度标准片可拆卸，满足周期性校准需求，可在长期使用中保证量值的准确性。
本发明授权一种计量标准器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种计量标准器，其特征在于，包括： 晶圆载体； 校准用微纳尺度标准片； 所述晶圆载体上设有凹槽结构； 所述校准用微纳尺度标准片可拆卸地固定在所述凹槽结构内； 所述晶圆载体包括叠置的第一晶圆和第二晶圆，所述凹槽结构贯穿所述第一晶圆，且所述凹槽结构的底面与所述第二晶圆的上表面齐平，其中，所述第二晶圆的上表面为所述第二晶圆的面向所述第一晶圆的表面； 所述凹槽结构底部的粗糙度和或所述校准用微纳尺度标准片的下表面的粗糙度小于或等于10nm，其中，所述校准用微纳尺度标准片的下表面为所述校准用微纳尺度标准片的面向所述凹槽结构底部的表面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人长鑫存储技术有限公司，其通讯地址为：230000 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励