江苏鲁汶仪器股份有限公司赵海洋获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种喷嘴安装装置及半导体刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539558U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422857796.4，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种喷嘴安装装置及半导体刻蚀设备是由赵海洋;李浩;许开东设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷嘴安装装置及半导体刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种喷嘴安装装置及半导体刻蚀设备。该喷嘴安装装置用于将喷嘴安装于介质窗，所述介质窗设于腔室的顶盖，所述喷嘴安装装置包括安装件；所述介质窗具有第一配合部和沿轴向贯通的第一安装孔，所述喷嘴具有第一抵靠部和第二配合部，所述安装件具有第二抵靠部；所述安装件和所述顶盖连接，所述第二抵靠部和所述第二配合部抵接，且所述第一配合部和所述第一抵靠部抵接，以将所述喷嘴至少部分限位于所述第一安装孔。该喷嘴安装装置在应用时，能够使喷嘴安装过程中安装件和介质窗之间不易产生摩擦，从而不易产生颗粒，并使得安装件的安装不易损坏介质窗。
本实用新型一种喷嘴安装装置及半导体刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种喷嘴安装装置，用于将喷嘴1安装于介质窗3，所述介质窗3设于腔室的顶盖2，其特征在于，所述喷嘴安装装置包括安装件5； 所述介质窗3具有第一配合部3b和沿轴向贯通的第一安装孔3a，所述喷嘴1具有第一抵靠部1a和第二配合部1b，所述安装件5具有第二抵靠部5a； 所述安装件5和所述顶盖2连接，所述第二抵靠部5a和所述第二配合部1b抵接，且所述第一配合部3b和所述第一抵靠部1a抵接，以将所述喷嘴1至少部分限位于所述第一安装孔3a。
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