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苏州佑伦真空设备科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种霍尔离子源的匀气结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223539554U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423033684.3,技术领域涉及:H01J27/14;该实用新型一种霍尔离子源的匀气结构是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种霍尔离子源的匀气结构在说明书摘要公布了:本实用新型提出一种霍尔离子源的匀气结构,包括阴极灯丝、极靴、阳极模块、水冷板、磁铁、底座、壳体,阳极模与水冷板之间设有热转移板,阳极模块下方与热转移板之间设有匀气腔室,匀气腔室内设有气体分流器,气体分流器连接于热转移板上方,气体分流器的四周与匀气腔室内壁形成匀气夹道,热转移板中部设有进气口和气体流道,气体流道包括多条气流子管道以及一条气流汇集管道,进气口设于热转移板的中心,工作气体从进气口进入后均匀流向多个气流子管道,由气流子管道向外汇聚到气流汇集管道,从气流汇集管道向上流向匀气夹道,最终冲击阴极灯丝,多条气流子管道和气流汇集管道使得输出的工作气体分布均匀。

本实用新型一种霍尔离子源的匀气结构在权利要求书中公布了:1.一种霍尔离子源的匀气结构,包括阴极灯丝1、极靴3、阳极模块4、水冷板6、磁铁7、底座8、壳体9,所述壳体9为中空腔室,壳体9与底座8卡接,所述磁铁7安装于底座8中心,磁铁7上方设有水冷板6,水冷板6上方依次设有阳极模块4、极靴3、阴极灯丝1,所述阴极灯丝1的两端通过导电柱2连接,所述导电柱2对称设置且从极靴3顶部贯穿至水冷板6下方,所述极靴3与阳极模块4通过导柱连接,所述极靴3与阳极模块4的中部为中空倒圆锥结构,其特征在于:所述阳极模块4与水冷板6之间设有热转移板5,所述阳极模块4的倒圆锥结构下方与所述热转移板5之间设有匀气腔室42,所述匀气腔室42内设有气体分流器43,所述气体分流器43连接于热转移板5上方,所述气体分流器43的四周与匀气腔室42内壁形成匀气夹道44,所述热转移板5中部设有进气口51和气体流道52,所述气体流道52包括多条气流子管道521以及一条气流汇集管道522,所述多条气流子管道521连通有气流汇集管道522,多条所述气流子管道521将热转移板5的中部上表面均分,所述进气口51设于热转移板5的中心,工作气体从进气口51进入后均匀流向多个气流子管道521,由气流子管道521向外汇聚到气流汇集管道522,从气流汇集管道522向上流向匀气夹道44,最终冲击阴极灯丝1,所述气体分流器43的面积大于气流汇集管道522外缘,多条所述气流子管道521和气流汇集管道522使得输出的工作气体分布均匀。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州佑伦真空设备科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区阳浦路78号6号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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