中微半导体设备(上海)股份有限公司黄稳获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利锁扣组件和反应腔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223535206U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422980570.3，技术领域涉及：C23C16/52；该实用新型锁扣组件和反应腔是由黄稳;姜勇设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本锁扣组件和反应腔在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种锁扣组件和反应腔，锁扣组件用于锁紧反应腔的第一部件和第二部件，锁扣组件包括调节部件、压紧部件和弹性部件。调节部件活动连接于第一部件且可沿靠近或远离第二部件的方向移动；压紧部件套接于调节部件，弹性部件两端分别抵靠于压紧部件和第二部件，弹性部件向第二部件施加向第一部件方向靠近的压紧力。本实用新型的锁扣组件，第一部件和第二部件可靠压紧，确保反应腔内气压较低时的可靠密封；并且当反应腔内部压力过大时，通过弹性部件的弹性变形以释放反应腔内的高压，避免反应腔内因压力过高产生爆炸；在反应腔内低压时能够确保反应腔的密封性，在反应腔内高压时能够及时泄压避免爆炸，兼顾了反应腔的气密性和安全性。
本实用新型锁扣组件和反应腔在权利要求书中公布了：1.一种锁扣组件，其特征在于，用于锁紧第一部件和第二部件，所述锁扣组件包括： 调节部件，活动连接于所述第一部件且可沿靠近或远离所述第一部件的方向移动； 连接杆，所述连接杆的两端分别连接于所述第一部件和所述调节部件，所述调节部件与所述连接杆活动连接，所述调节部件可沿靠近或远离所述第一部件的方向相对所述连接杆移动； 压紧部件，套接于所述调节部件； 弹性部件，其两端分别抵靠于所述压紧部件和所述第二部件，所述弹性部件向所述第二部件施加向所述第一部件方向靠近的压紧力。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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