先材(深圳)半导体科技有限公司张晶获国家专利权
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龙图腾网获悉先材(深圳)半导体科技有限公司申请的专利一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223535205U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423185083.4，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备是由张晶;王陶;罗显靖;胡向阳设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备在说明书摘要公布了：本申请涉及等离子体化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备。所述样品台包括样品台主体和导热片，其中：样品台主体具有适于放置衬底的正面和适于接触冷却台的背面，正面设有适于容纳衬底的衬底槽；导热片设置于衬底槽内的中心位置和或背面的中心位置，并且，导热片的热导率大于样品台主体的热导率。本申请提供样品台利用导热片的高导热性将衬底的中心区域的热量快速向下传导，使衬底各区域的热量分布趋于平衡，从而能够提高衬底的表面温度的均匀性，使所形成的金刚石膜更加均匀，提高所形成的金刚石膜的性能和质量。
本实用新型一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备在权利要求书中公布了：1.一种用于MPCVD设备的样品台，其特征在于，包括样品台主体1和导热片2，其中： 所述样品台主体1具有适于放置衬底100的正面和适于接触冷却台200的背面，所述正面设有适于容纳所述衬底100的衬底槽11； 所述导热片2设置于所述衬底槽11内的中心位置和或所述背面的中心位置，并且，所述导热片2的热导率大于所述样品台主体1的热导率。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人先材(深圳)半导体科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-33号201；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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