北京北方华创微电子装备有限公司康兴获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利进气系统和半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223535201U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422683174.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型进气系统和半导体工艺设备是由康兴;周志文;王磊磊设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本进气系统和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种进气系统和半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域。所公开的进气系统包括第一进气装置和第二进气装置，所述第一进气装置包括多个第一进气管道，各所述第一进气管道的第一端用于与气源相连通，各所述第一进气管道的第二端均用于与所述半导体工艺设备的工艺腔室相连通；所述第二进气装置包括第二进气管道，所述第二进气管道的第一端用于与所述气源相连通，所述第二进气管道的第二端可通断地与各所述第一进气管道中的至少一者相连通，以使所述气源可选择性地通过所述第二进气管道与各所述第一进气管道中的至少一者相连通。上述方案能够解决相关技术涉及的进气系统存在容易影响对衬底的加工效果的问题。
本实用新型进气系统和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种进气系统，用于半导体工艺设备，其特征在于，所述进气系统包括第一进气装置和第二进气装置， 所述第一进气装置包括多个第一进气管道100，各所述第一进气管道100的第一端用于与气源相连通，各所述第一进气管道100的第二端均用于与所述半导体工艺设备的工艺腔室200相连通； 所述第二进气装置包括第二进气管道300，所述第二进气管道300的第一端用于与所述气源相连通，所述第二进气管道300的第二端可通断地与各所述第一进气管道100中的至少一者相连通，以使所述气源可选择性地通过所述第二进气管道300与各所述第一进气管道100中的至少一者相连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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