斯通汉德科技(浙江)有限公司盛燮冰获国家专利权
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龙图腾网获悉斯通汉德科技(浙江)有限公司申请的专利超精密磁控离子溅射仪角度可调样品台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223535196U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422946945.4,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型超精密磁控离子溅射仪角度可调样品台是由盛燮冰设计研发完成,并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本超精密磁控离子溅射仪角度可调样品台在说明书摘要公布了:本实用新型属于超精密磁控离子溅射仪应用技术领域,具体公开了超精密磁控离子溅射仪角度可调样品台,包括台体、PLC控制器、下圆形固定台、金属圆珠、上圆形动支撑台、圆形料台、样品槽、一组竖框架板、竖液压缸、一组横板、倾角传感器安装座和倾角传感器等;其中,竖液压缸、倾角传感器分别与PLC控制器连接。本实用新型的有益效果在于:利用相配合使用的下圆形固定台、下圆形固定台圆形槽、金属圆珠、上圆形动支撑台、上圆形动支撑台圆形槽等,结合竖液压缸、倾角传感器、PLC控制器,可实现对溅射的样品进行相应依需角度精准和稳定的调节,满足不同溅射的样品高质的溅射检测需求;整体采用分体式的多模块结构设计,便于进行组装或检维,便推广。
本实用新型超精密磁控离子溅射仪角度可调样品台在权利要求书中公布了:1.超精密磁控离子溅射仪角度可调样品台,包括台体100、PLC控制器117和样品107,其特征在于: 所述台体100的一端端面设置有下圆形固定台101, 所述下圆形固定台101的一面设置有下圆形固定台圆形槽102, 所述下圆形固定台圆形槽102内设置有金属圆珠103, 所述金属圆珠103上设置有上圆形动支撑台104, 所述上圆形动支撑台104的一面设置有与金属圆珠103相匹配的上圆形动支撑台圆形槽105, 所述上圆形动支撑台104的另一面设置有圆形料台106, 所述圆形料台106的一面设置有样品槽108, 所述台体100的一端端面,且位于下圆形固定台101外层对称设置有至少一组竖框架板115, 所述竖框架板115的一端分别设置有竖液压缸116, 所述上圆形动支撑台104的外壁至少对称设置有一组横板109, 所述横板109的一端端面分别设置有倾角传感器安装座113, 所述倾角传感器安装座113上分别设置有倾角传感器114; 其中,竖液压缸116、倾角传感器114分别与PLC控制器117连接。
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