江苏鲁汶仪器股份有限公司胡少谦获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种靶材组件及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223535189U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422456853.8，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种靶材组件及镀膜设备是由胡少谦;桑康;陈龙保;胡冬冬;张风林;耿斌;刘朋飞;冯家莉;许开东设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材组件及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种靶材组件及镀膜设备，包括：支撑板，支撑板的第一侧固定设置有靶材，第二侧转动设置于分水块的一侧，第一侧与第二侧为支撑板上相对的两侧，支撑板为内设腔体的结构并通过连接管与分水块连通；弧形齿，弧形齿的一端固定设置于支撑板的第二侧；磁流体轴，用于支撑分水块，磁流体轴上固定设置有承载台，承载台上设置有第一驱动部，第一驱动部的动力输出轴的外周套设有驱动齿轮，驱动齿轮用于啮合弧形齿，并在第一驱动部的驱动下带动弧形齿转动。本实用新型通过在磁流体轴上设置第一驱动部以带动驱动齿轮转动而对弧形齿进行驱动，弧形齿通过啮合作用转动并带动支撑板转动，而对调整靶材的角度，满足生产及实验需求。
本实用新型一种靶材组件及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种靶材组件，其特征在于，包括： 支撑板，所述支撑板的第一侧固定设置有靶材，第二侧转动设置于分水块的一侧，所述第一侧与所述第二侧为所述支撑板上相对的两侧，所述支撑板为内设腔体的结构并通过连接管与所述分水块连通； 传动部，所述传动部固定设置于所述支撑板的第二侧； 磁流体轴，用于支撑所述分水块，所述磁流体轴上固定设置有承载台，所述承载台上设置有第一驱动部，所述第一驱动部的动力输出轴上设置有动作部，所述动作部由所述第一驱动部驱动动作，以驱动所述传动部转动而调节所述支撑板的角度。
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