安徽纯源镀膜科技有限公司张心凤获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽纯源镀膜科技有限公司申请的专利一种真空镀膜靶材用液冷装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223535188U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420896513.4，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种真空镀膜靶材用液冷装置是由张心凤;夏正卫;刘洋;汪鹏;张春福;董中林设计研发完成，并于2024-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜靶材用液冷装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种真空镀膜靶材用液冷装置，包括上、下叠合布置的第一板体和第二板体，第一板体的上板面构成用于靶材散热的工作面，第一板体和第二板体交接处设置用于容纳冷却液的冷却腔室，第二板体的下板面上设置用于冷却腔室内的冷却液进、出的进液管和出液管，第一板体、第二板体、进液管、出液管之间采用焊接的方式进行密封装配连接。本实用新型提供的上述方案，通过采用焊接方式实现组成液冷装置的各部件之间的密封装配连接，从而解决传统冷却装置中密封圈老化导致冷却液泄露的问题，提高真空镀膜的可靠性。
本实用新型一种真空镀膜靶材用液冷装置在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜靶材用液冷装置，其特征在于：包括上、下叠合布置的第一板体和第二板体，第一板体的上板面构成用于靶材散热的工作面，第一板体和第二板体交接处设置用于容纳冷却液的冷却腔室，第二板体的下板面上设置用于冷却腔室内的冷却液进、出的进液管和出液管，第一板体、第二板体、进液管、出液管之间采用焊接的方式进行密封装配连接。
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