南方科技大学张福才获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利透明光学元件的双表面轮廓测量方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120740495B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511195192.0,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权透明光学元件的双表面轮廓测量方法及装置是由张福才;程子秋设计研发完成,并于2025-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本透明光学元件的双表面轮廓测量方法及装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种透明光学元件的双表面轮廓测量方法及装置。该方法包括:获取待测元件的第一衍射图样;待测元件为待测量双表面轮廓的透明光学元件;基于相干调制成像对第一衍射图样进行相位恢复,得到待测元件的反射波前的重构结果;基于待测元件的反射波前的重构结果,建立待测元件的反射波前的双表面轮廓耦合模型;双表面轮廓耦合模型只包含待测元件的双表面合成信息;反向对双表面轮廓耦合模型进行解耦,以便从双表面合成信息中分离出待测元件的前表面轮廓信息和后表面轮廓信息。本申请提供的方案,能够解决相关技术中不适合动态测量、对噪声敏感、不适合大口径器件测量和实现成本高等问题。
本发明授权透明光学元件的双表面轮廓测量方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种透明光学元件的双表面轮廓测量方法,其特征在于,包括: 获取待测元件的第一衍射图样;所述待测元件为待测量双表面轮廓的透明光学元件; 基于相干调制成像对所述第一衍射图样进行相位恢复,得到所述待测元件的反射波前的重构结果; 基于所述待测元件的反射波前的重构结果,建立所述待测元件的反射波前的双表面轮廓耦合模型;所述双表面轮廓耦合模型只包含所述待测元件的双表面合成信息; 反向对所述双表面轮廓耦合模型进行解耦,以便从所述双表面合成信息中分离出所述待测元件的前表面轮廓信息和后表面轮廓信息; 所述重构结果为初始耦合模型;所述基于相干调制成像对所述第一衍射图样进行相位恢复,得到所述待测元件的反射波前的重构结果,包括: 基于相干调制成像对所述第一衍射图样进行相位恢复,以便重构得到所述待测元件的反射波前的初始耦合模型;所述初始耦合模型包含所述待测元件的双表面合成信息和用于测量所述待测元件的测量系统的照明光信息; 所述基于所述待测元件的反射波前的重构结果,建立所述待测元件的反射波前的双表面轮廓耦合模型,包括: 从所述初始耦合模型中移除所述照明光信息,以便建立得到所述待测元件的反射波前的双表面轮廓耦合模型; 所述从所述初始耦合模型中移除所述照明光信息,以便建立得到所述待测元件的反射波前的双表面轮廓耦合模型,包括: 获取标准元件的第二衍射图样;所述标准元件为具有已知单表面轮廓信息且高平整度的透明光学元件; 基于所述相干调制成像对所述第二衍射图样进行相位恢复,得到所述标准元件的反射波前的重构结果;所述标准元件的反射波前的重构结果包含所述已知单表面轮廓信息和所述照明光信息; 将所述标准元件的反射波前的重构结果作为所述测量系统的预标定信息; 从所述初始耦合模型中移除所述预标定信息,以便建立得到所述待测元件的反射波前的双表面轮廓耦合模型; 所述反向对所述双表面轮廓耦合模型进行解耦,以便从所述双表面合成信息中分离出所述待测元件的前表面轮廓信息和后表面轮廓信息,包括: 确定所述待测元件的前表面的第一传递函数,以及确定所述待测元件的后表面的第二传递函数; 根据所述第一传递函数和所述第二传递函数,确定所述双表面轮廓耦合模型的目标解耦参数;所述目标解耦参数包括第一解耦参数和第二解耦参数,所述第一解耦参数用于分离出所述待测元件的前表面轮廓信息,所述第二解耦参数用于分离出所述待测元件的后表面轮廓信息; 采用所述第一解耦参数的相位信息,从所述双表面轮廓耦合模型中反向求解出所述前表面轮廓信息,以及采用所述第二解耦参数的相位信息,从所述双表面轮廓耦合模型中反向求解出所述后表面轮廓信息。
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