买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海精测半导体技术有限公司申请的专利光斑检测方法、对焦方法及光声量测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120008485B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311517839.8，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权光斑检测方法、对焦方法及光声量测系统是由杜航;董诗浩;李仲禹;陈煜杰设计研发完成，并于2023-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本光斑检测方法、对焦方法及光声量测系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光斑检测方法、对焦方法及光声量测系统，光斑检测方法包括：通过光束偏转模块调整激发光和探测光之间的相对光学偏转角度，并通过探测模块实时采集探测光在样品表面的反射光并生成指示反射光的信号强度，拟合信号强度关于相对光学偏转角度的关系曲线，基于关系曲线获取第一目标相对光学偏转角度θ1和第二目标相对光学偏转角度θ2，计算有效光斑尺寸，有效光斑尺寸为相对移动的方向上激发光光斑的尺寸与探测光光斑的尺寸之和。该方法通过调整激发光和探测光之间的相对光学偏转角度，并拟合信号强度关于相对光学偏转角度的关系曲线，进而测得有效光斑尺寸，并基于该光斑检测方法对光声量测系统对焦，进一步实现有效且精确的膜厚测量。

本发明授权光斑检测方法、对焦方法及光声量测系统在权利要求书中公布了：1.一种光斑检测方法，其特征在于，包括： 通过光源模块生成激发光和探测光，所述激发光和探测光分别沿各自光路经聚焦模块入射至位于所述聚焦模块焦深范围内的样品表面，在所述样品表面形成激发光光斑和探测光光斑； 通过光束偏转模块调整所述激发光的入射方向或所述探测光的入射方向，使得所述激发光光斑和所述探测光光斑在所述样品表面产生相对移动，实时获取所述激发光和所述探测光之间的相对光学偏转角度，并通过探测模块实时采集所述探测光在所述样品表面的反射光并生成指示所述反射光的信号强度，所述调整使得所述信号强度历经从背景噪声区域值R0增大再下降至所述背景噪声区域值R0的变化过程； 拟合所述信号强度关于所述相对光学偏转角度的关系曲线； 基于所述关系曲线获取第一目标相对光学偏转角度θ1和第二目标相对光学偏转角度θ2； 基于所述第一目标相对光学偏转角度θ1和所述第二目标相对光学偏转角度θ2，计算有效光斑尺寸，所述有效光斑尺寸为所述相对移动的方向上的所述激发光光斑的尺寸与所述探测光光斑的尺寸之和。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海精测半导体技术有限公司，其通讯地址为：201702 上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。