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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利离子能量控制系统以及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480597B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310991863.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权离子能量控制系统以及控制方法是由韦刚;王景远;李东彧;王蕾越;葛军设计研发完成，并于2023-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本离子能量控制系统以及控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种离子能量控制系统以及控制方法，离子能量控制系统用于向偏压电极输出预设波形的电压，离子能量控制系统包括：波形生成电路，波形生成电路生成预设波形的电压；振荡抑制电路，波形生成电路的输出端与振荡抑制电路的第一端电连接，振荡抑制电路的第二端用于与负载电路电连接，振荡抑制电路用于在波形生成电路生成的电压突变时，抑制负载电路中的电流振荡。本发明的离子能量控制系统通过在波形生成电路与负载电路之间设置振荡抑制电路，在波形生成电路生成的电压突变时，可以通过振荡抑制电路抑制负载电路中的电流振荡，减少对偏压波形的影响，从而提高控制精度。

本发明授权离子能量控制系统以及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种离子能量控制系统，用于向偏压电极30输出预设波形的电压，其特征在于，所述离子能量控制系统包括： 波形生成电路10，所述波形生成电路10生成预设波形的电压； 振荡抑制电路20，所述波形生成电路10的输出端与所述振荡抑制电路20的第一端电连接，所述振荡抑制电路20的第二端用于与负载电路40电连接，所述振荡抑制电路20用于在所述波形生成电路10生成的电压突变时，抑制所述负载电路40中的电流振荡； 所述振荡抑制电路20包括： 单向支路21，所述单向支路21的第一端与所述波形生成电路10电连接，所述单向支路21的第一端用于与所述负载电路40电连接，所述单向支路21在所述波形生成电路10的输出端至所述负载电路40的方向上导通，所述负载电路40至在所述波形生成电路10的输出端的方向上断开； 振荡抑制电阻22，所述振荡抑制电阻22与所述单向支路21并联，所述振荡抑制电阻22用于在所述波形生成电路10生成的电压突变时，消耗所述负载电路40中的振荡电流的能量。

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