北京北方华创微电子装备有限公司光耀华获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其工艺尾气分离装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119367798B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310922238.9，技术领域涉及：B01D5/00；该发明授权半导体工艺设备及其工艺尾气分离装置是由光耀华设计研发完成，并于2023-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及其工艺尾气分离装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体工艺设备的工艺尾气分离装置，用于分离半导体工艺设备的工艺腔室排出的工艺尾气中的非气态副产物，工艺尾气分离装置包括：冷凝组件，其包括冷凝器，冷凝器用于对工艺尾气进行冷凝处理，以使工艺尾气冷凝后分离出非气态副产物；其中，冷凝器包括用于容纳工艺尾气的冷凝腔体；刮板组件，设置于冷凝腔体内，刮板组件用于刮除工艺尾气冷凝后在冷凝腔体内壁面上分离出的非气态副产物，可以避免非气态副产物堆积在冷凝腔体的内壁面，保持工艺尾气排放通道的顺畅，提高工艺尾气分离装置使用的安全性，缩短工艺尾气分离装置的维修周期。本发明还提供了一种半导体工艺设备。
本发明授权半导体工艺设备及其工艺尾气分离装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的工艺尾气分离装置，用于分离所述半导体工艺设备的工艺腔室排出的工艺尾气中的非气态副产物，其特征在于，所述工艺尾气分离装置包括： 冷凝组件，其包括冷凝器，所述冷凝器用于对工艺尾气进行冷凝处理，以使所述工艺尾气冷凝后分离出所述非气态副产物；其中，所述冷凝器包括用于容纳所述工艺尾气的冷凝腔体； 刮板组件，设置于所述冷凝腔体内，所述刮板组件用于刮除所述工艺尾气冷凝后在所述冷凝腔体内壁面上分离出的所述非气态副产物， 所述刮板组件包括：旋转件，可转动地设置于所述冷凝腔体内；以及第一板体部，连接于所述旋转件，所述第一板体部用于在所述旋转件转动时刮除所述冷凝腔体内壁面上的所述非气态副产物； 所述旋转件包括管体，所述管体设置于所述冷凝腔体内，所述管体设置有贯穿其厚度的第一通孔；其中，所述第一板体部设置于所述管体朝向所述冷凝腔体一侧的外壁面上。
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