上海广川科技有限公司方恺获国家专利权
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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种用于真空环境的晶圆翻转装置及翻转方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118683959B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410953146.1，技术领域涉及：B65G47/248；该发明授权一种用于真空环境的晶圆翻转装置及翻转方法是由方恺;刘锐;赵鹏程;毛丰富;王申设计研发完成，并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于真空环境的晶圆翻转装置及翻转方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于真空环境的晶圆翻转装置及翻转方法，该装置包括：同心双轴件、旋转驱动器、第一滑动架、第二滑动架、叉架、导向滑动组件、安装架，其中所述第一、第二滑动架的第一侧设有捻指件、第二侧设有齿条，所述第一、第二滑动架经导向滑动组件分别与叉架顶面及底面滑动连接，构成导向移动机构；所述同心双轴件连接在安装架上，其内轴两端分别与旋转驱动器的第一驱动端及叉架对接、外轴的尾端与旋转驱动器的第二驱动端对接、外轴的前端设有轮齿，以在第一、第二滑动架之间与各齿条同时啮合，驱动导向移动机构捻动捻指件。籍此以通过捻指结构持住晶圆进行翻转，以此简化所需机械传动结构，并缩减体积小型化。
本发明授权一种用于真空环境的晶圆翻转装置及翻转方法在权利要求书中公布了：1.一种用于真空环境的晶圆翻转装置，其包括：同心双轴件、旋转驱动器、第一滑动架、第二滑动架、叉架、导向滑动组件、安装架，其中所述第一、第二滑动架的第一侧设有捻指件、第二侧设有齿条，所述第一、第二滑动架经导向滑动组件分别与叉架顶面及底面滑动连接，构成导向移动机构；其中所述捻指件包括：指架、指键，所述指架两侧设有悬臂，所述指键与悬臂连接，所述第一、第二滑动架的内顶面至少部分悬空，以在叉架与第一、第二滑动架之间，定义出晶圆传送空间，其中各捻指件的至少一端指键相互交叠，各所述指键前端设有指台，所述指台与指键具有落差，以在捻指件捻合时，定义出捻持空间； 所述同心双轴件连接在安装架上，其内轴两端分别与旋转驱动器的第一驱动端及叉架对接、外轴的尾端与旋转驱动器的第二驱动端对接、外轴的前端设有轮齿，以在第一、第二滑动架之间与各齿条同时啮合，驱动导向移动机构捻动捻指件。
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