北京北方华创微电子装备有限公司杨建姣获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114242619B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111524293.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体工艺设备及其控制方法是由杨建姣;顾文亮设计研发完成，并于2021-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种半导体工艺设备及其控制方法。涉及半导体制造技术领域。本发明所述的半导体工艺设备包括至少一个灯箱、工艺气体循环管道和与灯箱一一对应的至少一个风压检测组件。其中，灯箱具有灯腔以及与灯腔连通的进风口和出风口，工艺气体循环管道的第一端与进风口连通，工艺气体循环管道的第二端与出风口连通，且工艺气体循环管道设置有第一检测口。风压检测组件包括高压检测口和低压检测口，高压检测口与对应的灯腔内部连通，低压检测口与第一检测口连通。该方案能解决半导体工艺设备内风压检测精度低的问题。
本发明授权半导体工艺设备及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括至少一个灯箱100、工艺气体循环管道200和与所述灯箱100一一对应的至少一个风压检测组件300，其中： 所述灯箱100具有灯腔110以及与所述灯腔110连通的进风口120和出风口130， 所述工艺气体循环管道200的第一端与所述进风口120连通，所述工艺气体循环管道200的第二端与所述出风口130连通，以使得所述灯腔110内，经所述出风口130排出至所述工艺气体循环管道200内的工艺气体，能够从所述进风口120进入所述灯腔110，所述工艺气体循环管道200设置有第一检测口210； 所述风压检测组件300包括高压检测口310和低压检测口320，所述高压检测口310与对应的所述灯腔110内部连通，所述低压检测口320与所述第一检测口210连通。
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