上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司洪永泰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种法拉第罩的固定装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223524410U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423283308.X，技术领域涉及：F16J15/06；该实用新型一种法拉第罩的固定装置是由洪永泰;王岩;王越辰;李钦设计研发完成，并于2024-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种法拉第罩的固定装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体生产制造领域，特别是涉及一种法拉第罩的固定装置，包括环形固定件及固定螺栓；所述环形固定件套装于法拉第罩的外侧；所述环形固定件的内圈包括台阶延伸部；所述台阶延伸部的台阶面与所述法拉第罩的底部台阶的台阶面相贴合，将所述法拉第罩压合固定；所述环形固定件的外圈包括固定通孔；所述固定通孔用于通过所述固定螺栓将所述环形固定件固定在安装表面上；所述环形固定件包括多个弧形固定单元。本实用新型增加了固定装置与法拉第罩的接触面积，使位于法拉第罩下方的密封圈受力更加均匀，提升了法拉第罩安装后的腔体密封性，降低漏率；同时还将环形固定件拆分为多个弧形固定单元，方便了安装，提升了法拉第罩的安装效率。
本实用新型一种法拉第罩的固定装置在权利要求书中公布了：1.一种法拉第罩的固定装置，其特征在于，包括环形固定件及固定螺栓；所述环形固定件套装于法拉第罩的外侧； 所述环形固定件的内圈包括台阶延伸部；所述台阶延伸部的台阶面与所述法拉第罩的底部台阶的台阶面相贴合，将所述法拉第罩压合固定； 所述环形固定件的外圈包括固定通孔；所述固定通孔用于通过所述固定螺栓将所述环形固定件固定在安装表面上； 所述环形固定件包括多个弧形固定单元。
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