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龙图腾网获悉江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司申请的专利一种电镀夹具及电镀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120738735B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511262021.5，技术领域涉及：C25D17/06；该发明授权一种电镀夹具及电镀设备是由梁德富;田玉峰设计研发完成，并于2025-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电镀夹具及电镀设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电镀夹具及电镀设备，涉及半导体设备技术领域。该电镀夹具包括夹持机构和驱动机构，夹持机构包括夹持底座和相对夹持底座可升降设置的夹持压板。驱动机构包括缸体和活塞，缸体具有封闭的中空腔室，且缸体的底部与夹持压板固定连接；活塞固定设置于中空腔室内，将中空腔室分隔为封闭的第一腔和第二腔，且第一腔位于第二腔下方。当第一腔内部的压力大于第二腔内部的压力时，缸体带动夹持压板向下运动，以下压固定位于夹持底座底部的晶圆，当第一腔内部的压力小于第二腔内部的压力时，缸体带动夹持压板向上运动，以向上松开位于夹持底座底部的晶圆。该电镀夹具简化了机械结构，减小了空间占用；极大地提升了晶圆旋转的平稳性。

本发明授权一种电镀夹具及电镀设备在权利要求书中公布了：1.一种电镀夹具，其特征在于，包括： 夹持机构1，包括夹持底座11和相对所述夹持底座11可升降设置的夹持压板12； 驱动机构2，包括缸体21、活塞22和气动轴24，所述缸体21具有封闭的中空腔室，且所述缸体21的底部与所述夹持压板12固定连接；所述活塞22固定设置于所述中空腔室内，将所述中空腔室分隔为封闭的第一腔211和第二腔212，且所述第一腔211位于所述第二腔212下方；所述气动轴24穿过所述第二腔212并与所述活塞22连接；所述气动轴24内具有第一气道和第二气道，所述第一气道与所述第一腔211连通，所述第二气道与所述第二腔212连通；所述气动轴24具有同心设置的第一孔241和第二孔242，所述第一孔241位于所述第二孔242的中部并贯通所述气动轴24靠近所述夹持机构1的一端，形成所述第一气道；所述第二孔242的两端均封堵设置，所述第二孔242的一封堵端间隔均布有多个进气孔243，另一封堵端间隔均布有多个出气孔244，多个所述进气孔243、所述第二孔242和多个所述出气孔244形成所述第二气道； 当所述第一腔211内部的压力大于所述第二腔212内部的压力时，所述缸体21带动所述夹持压板12向下运动，以下压固定位于所述夹持底座11底部的晶圆；当所述第一腔211内部的压力小于所述第二腔212内部的压力时，所述缸体21带动所述夹持压板12向上运动，以向上松开位于所述夹持底座11底部的晶圆。

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