上海谙邦半导体设备有限公司徐昕获国家专利权
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龙图腾网获悉上海谙邦半导体设备有限公司申请的专利一种气体预混合装置及等离子体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120714479B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511170870.8，技术领域涉及：B01F25/421；该发明授权一种气体预混合装置及等离子体处理设备是由徐昕;王兆祥;桂智谦;涂乐义;梁洁;仲凯;方子豪;曹天俊;谭小龙设计研发完成，并于2025-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体预混合装置及等离子体处理设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种气体预混合装置及等离子体处理设备，包括混合腔；多路与所述混合腔连通的进气通道，用于向所述混合腔内输送多路工艺气体；扰流组件，设于所述混合腔内，所述扰流组件包括若干个弧形扰流结构，所述弧形扰流结构呈弧形结构设置，且所述弧形结构朝向背离所述进气通道的方向外凸弯曲，若干个所述弧形扰流结构基于所述混合腔和多路所述进气通道而规则布设成扰流片阵列；本发明通过在气体进入反应腔室前设置气体预混合装置，有效解决了传统送气方式中多路气体直接进入反应腔室导致的混合不充分、气体分布不均匀等问题。
本发明授权一种气体预混合装置及等离子体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种气体预混合装置，其特征在于，包括： 混合腔； 多路与所述混合腔连通的进气通道，用于向所述混合腔内输送多路工艺气体； 至少一个出气通道，所述出气通道连通所述混合腔和反应腔室以将所述混合腔内混合后的工艺气体输送到所述反应腔室内； 扰流组件，设于所述混合腔内，所述扰流组件包括若干个弧形扰流结构，所述弧形扰流结构呈弧形结构设置，且所述弧形结构朝向背离所述进气通道的方向外凸弯曲，若干个所述弧形扰流结构基于所述混合腔和多路所述进气通道而规则布设成扰流片阵列，所述扰流片阵列于所述进气通道的进气口所在的所述混合腔的内壁的正投影覆盖多路所述进气通道的进气口，以引导所述多路工艺气体在所述混合腔内旋转运动实现所述多路工艺气体的混合。
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