阜阳师范大学周亚亚获国家专利权
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龙图腾网获悉阜阳师范大学申请的专利一种微孔电镀方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120425431B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510940248.4,技术领域涉及:C25D5/54;该发明授权一种微孔电镀方法是由周亚亚;马艺冰设计研发完成,并于2025-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微孔电镀方法在说明书摘要公布了:本发明属于微电子制造与精密电化学沉积领域,具体涉及一种微孔电镀方法。具体包括如下步骤:S1.对蒸镀完导电层的基材进行亲水化处理;S2.在基材的微孔开口处覆盖多孔蒸发层;S3.将S2处理后的基材浸入电解液,对基材的微孔底端进行加热;S4.对电解液施加光照,同时开始电镀,电镀完成后清洗干燥,即完成微孔电镀。本发明针对现有技术中传统单一机械驱动方式的不足,提供一种通过毛细作用增强、温度梯度驱动、光催化微流激发及仿生蒸发补液四重机制的协同作用,实现对高深宽比微孔电镀过程的精准调控。
本发明授权一种微孔电镀方法在权利要求书中公布了:1.一种微孔电镀方法,其特征在于,包括如下步骤: S1.对蒸镀完导电层的基材进行亲水化处理; S2.在基材的微孔开口处覆盖多孔蒸发层; S3.将S2处理后的基材浸入电解液,对基材的微孔底端进行加热; S4.对电解液施加光照,同时开始电镀,电镀完成后清洗干燥,即完成微孔电镀; 其中,所述电解液中含有光催化纳米粒子。
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