华南理工大学梁良获国家专利权
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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种小功率激光在透明材料内部制备微通道阵列的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119187958B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411677125.8,技术领域涉及:B23K26/55;该发明授权一种小功率激光在透明材料内部制备微通道阵列的方法是由梁良;江鲲;姜长城;吴志伟设计研发完成,并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种小功率激光在透明材料内部制备微通道阵列的方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种小功率激光在透明材料内部制备微通道阵列的方法,包括:将透明材料进行预热;工作台上设置靶材,将透明材料紧贴地设置于靶材上方;将小功率激光调整至垂直于透明材料入射,且激光焦点调整在透明材料和靶材的交界面上;根据微通道阵列的倾斜角度和相邻微通道间距,设定小功率激光的扫描速度和扫描距离;小功率激光从靶材诱导出的等离子体在透明材料下表面烧蚀出微腔,且等离子体被限制在微腔内;小功率激光进行扫描,在扫描过程中激光焦点保持在所述交界面上,以得到倾斜角度可调的微通道。该方法引入靶材并使用小功率激光诱导等离子体辅助烧蚀,可在透明材料内部制备可调角度的微通道阵列,可节省能耗和降低生产成本。
本发明授权一种小功率激光在透明材料内部制备微通道阵列的方法在权利要求书中公布了:1.一种小功率激光在透明材料内部制备微通道阵列的方法,其特征在于:包括: 步骤S1、将待制备微通道阵列的透明材料进行预热;工作台上设置靶材,将预热后的透明材料紧贴地设置于靶材的上方; 步骤S2、将小功率激光调整至垂直于透明材料入射,且激光焦点调整在透明材料和靶材的交界面上; 步骤S3、根据微通道阵列的倾斜角度和相邻微通道间距,设定小功率激光的扫描速度;并根据微通道阵列的倾斜角度,设定每个待制备微通道的扫描距离;获取首个待制备微通道的位置信息; 步骤S4、小功率激光对准当前待制备微通道在透明材料下表面的位置;小功率激光从靶材诱导出的等离子体在透明材料下表面烧蚀出微腔,且等离子体被限制在微腔内,以提高等离子体密度; 小功率激光进行扫描,在扫描过程中激光焦点保持在所述交界面上,以使从靶材诱导出的等离子体以及透明材料产生的等离子体得到由与激光传播方向相反的分速度和沿扫描方向的分速度组成的合速度,从而得到从透明材料下表面的微腔延伸至透明材料上表面延伸且倾斜角度可调的微通道; 步骤S5、获取下一个待制备微通道的位置信息;重复执行步骤S4,直至微通道阵列制备完成; 所述步骤S3中,根据微通道阵列的倾斜角度和相邻微通道间距,设定小功率激光的扫描速度,是指:微通道的倾斜角度α、相邻微通道间距W分别与扫描速度x的关系式如下: α=0.002x2-1.04x+90.0875; W=0.94x2+15.6x+188.125; 其中,扫描速度x的单位为mms;倾斜角度α的单位为度;相邻微通道间距W的单位为μm; 所述小功率激光是指:平均功率大于等于10W,且小于16W的激光。
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