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中北大学石云波获国家专利权

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龙图腾网获悉中北大学申请的专利基于嵌入式叉齿止挡和防撞台的双轴抗冲击电容式加速度计传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119044538B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411278650.2,技术领域涉及:G01P15/125;该发明授权基于嵌入式叉齿止挡和防撞台的双轴抗冲击电容式加速度计传感器是由石云波;赵锐;帅清;张旭;唐军;刘俊设计研发完成,并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

基于嵌入式叉齿止挡和防撞台的双轴抗冲击电容式加速度计传感器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于嵌入式叉齿止挡和防撞台的双轴抗冲击电容式加速度计传感器,涉及微机电系统制造技术领域。包括可动质量块、第一结构单元、第二结构单元与抗过载固定锚点区,可动质量块为整块结构,抗过载固定锚点区位于第一结构单元与第二结构单元之间;可动质量块根据第一结构单元、抗过载固定锚点区与第二结构单元的位置分为上、中、下三部分、且可动质量块上下部分结构相同且对称;第一结构单元和第二结构单元均包括多个驱动梳齿锚点区,每个驱动梳齿锚点区与可动质量块连接的部位设有防撞区与梳齿连接区,梳齿连接区形成相应的可变间隙敏感差动电容;抗过载固定锚点区与可动质量块连接的部位形成多个抗双轴过载嵌入式叉齿止挡区。

本发明授权基于嵌入式叉齿止挡和防撞台的双轴抗冲击电容式加速度计传感器在权利要求书中公布了:1.一种基于嵌入式叉齿止挡和防撞台的双轴抗冲击电容式加速度计传感器,其特征在于:包括可动质量块110、第一结构单元、第二结构单元与抗过载固定锚点区,所述可动质量块110为整块结构,所述抗过载固定锚点区位于第一结构单元与第二结构单元之间;所述可动质量块110根据第一结构单元、抗过载固定锚点区与第二结构单元的位置分为上、中、下三部分、且可动质量块110上下部分结构相同且对称,所述可动质量块110的上下部分分别左右对称; 所述第一结构单元和第二结构单元均包括多个驱动梳齿锚点区,每个驱动梳齿锚点区与可动质量块110连接的部位设有防撞区与梳齿连接区,所述梳齿连接区形成相应的可变间隙敏感差动电容;所述抗过载固定锚点区与可动质量块110连接的部位形成多个抗双轴过载嵌入式叉齿止挡区; 所述可动质量块110上部的结构包括横向区域1101,所述横向区域1101的左端顶部设有第一嵌入式防撞台51、右端顶部设有第二嵌入式防撞台52,所述第一嵌入式防撞台51与第二嵌入式防撞台52形状均为两个相同的方形的可动质量块柔性止挡块21; 所述第一结构单元包括上方Y轴驱动梳齿锚点区41、两个防撞台锚点区42、左方X轴驱动梳齿锚点区43、右方X轴驱动梳齿锚点区44,所述上方Y轴驱动梳齿锚点区41外部形状呈方形,且环绕于可动质量块110上部结构的外围;两个防撞台锚点区42呈方形,且分别位于与第一嵌入式防撞台51及第二嵌入式防撞台52相应的位置,而且防撞台锚点区42设有一个固定驱动柔性止挡块22,所述固定驱动柔性止挡块22的形状尺寸与两个可动质量块柔性止挡块21之间的间隔相匹配,且固定驱动柔性止挡块22不接触的插入两个可动质量块柔性止挡块21之间,使得两个防撞台锚点区42分别与第一嵌入式防撞台51及第二嵌入式防撞台52形成防撞间隙; 所述可动质量块110下部的横向区域1101的左端底部设有第三嵌入式防撞台53、右端底部设有第四嵌入式防撞台54,所述第三嵌入式防撞台53与第四嵌入式防撞台54形状均为两个相同的方形的可动质量块柔性止挡块21; 所述第二结构单元包括下方Y轴驱动梳齿锚点区45,而且除去下方Y轴驱动梳齿锚点区45后的结构均与第一结构单元相同;所述下方Y轴驱动梳齿锚点区45分为左方Y轴驱动梳齿锚点区451、左下Y轴驱动梳齿锚点区452,中下Y轴驱动梳齿锚点区453、右下Y轴驱动梳齿锚点区454、右方Y轴驱动梳齿锚点区455,用于不同部位质量块电极的引出;位于下方的两个防撞台锚点区42分别位于与第三嵌入式防撞台53及第四嵌入式防撞台54相应的位置,所述第三嵌入式防撞台53及第四嵌入式防撞台54与相应的防撞台锚点区42的连接结构与上方第一第二嵌入式防撞台与防撞台锚点区42的连接结构相同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中北大学,其通讯地址为:030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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