威孚(苏州)半导体技术有限公司何翔获国家专利权
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龙图腾网获悉威孚(苏州)半导体技术有限公司申请的专利晶圆寻边定位与ID号识别的控制系统及其控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119028892B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411105448.X,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权晶圆寻边定位与ID号识别的控制系统及其控制方法是由何翔;张楠楠;李少琦设计研发完成,并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆寻边定位与ID号识别的控制系统及其控制方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆寻边定位与ID号识别的控制系统及其控制方法,系统包括FPGA控制器向激光发射器发送激光发射指令;激光发射器向待检晶圆发送平行线激光信号;光电传感器采集平行线激光信号穿过待检晶圆边缘后所产生的边缘位置电信号,并通过FPGA控制器传输至ARM处理器;ARM处理器根据边缘位置电信号计算得到晶圆偏移数据,并根据晶圆偏移数据控制寻边运动模组进行运动;ARM处理器还向图像传感器发送晶圆图像采集指令;图像传感器获取晶圆表面图像;OCR识别组件根据晶圆表面图像,识别得到ID号并输出。本发明实现了晶圆寻边定位功能与ID号识别功能的一体化设计,集成度高,成本低,占用空间小,工作效率和稳定性高。
本发明授权晶圆寻边定位与ID号识别的控制系统及其控制方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆寻边定位与ID号识别的控制系统,其特征在于,所述控制系统包括FPGA控制器、激光发射器、光电传感器、ARM处理器、图像传感器、OCR识别组件和寻边运动模组; 所述激光发射器和所述光电传感器均与所述FPGA控制器电连接,所述FPGA控制器与所述ARM处理器通信连接,所述图像传感器、所述OCR识别组件和所述寻边运动模组均与所述ARM处理器电连接; 所述FPGA控制器用于向所述激光发射器发送激光发射指令; 所述激光发射器用于根据接收到的所述激光发射指令,向待检晶圆发送平行线激光信号; 所述光电传感器用于采集所述平行线激光信号穿过所述待检晶圆边缘后所产生的边缘位置电信号,并将所述边缘位置电信号传输至所述FPGA控制器; 所述FPGA控制器用于将接收到的所述边缘位置电信号传输至所述ARM处理器; 所述ARM处理器用于根据接收到的所述边缘位置电信号,计算得到晶圆偏移数据,并根据所述晶圆偏移数据,控制所述寻边运动模组进行运动,以对所述待检晶圆进行寻边定位; 所述ARM处理器还用于向所述图像传感器发送晶圆图像采集指令; 所述图像传感器用于根据接收到的所述图像采集指令,获取所述待检晶圆的晶圆表面图像,并通过所述ARM处理器将所述晶圆表面图像传输至所述OCR识别组件; 所述OCR识别组件用于根据接收到的所述晶圆表面图像,识别得到所述待检晶圆的ID号并输出。
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