合肥芯碁微电子装备股份有限公司赵美云获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利光学扩展模组和具有其的光学系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118707743B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410988613.4，技术领域涉及：G02B27/10；该发明授权光学扩展模组和具有其的光学系统是由赵美云;曲鲁杰;蔡银银;程刚设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学扩展模组和具有其的光学系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光学扩展模组和具有其的光学系统，光学扩展模组包括：空间光调制器，空间光调制器构造有主成像镜头；扩展镜组，扩展镜组设置于主成像镜头的一侧，扩展镜组通过主成像镜头、扩展镜组以形成多个展开光路，展开光路包括第一展开光路和第二展开光路；第一倍率透镜，第一倍率透镜与第一展开光路一一对应设置，第一倍率透镜设置于扩展镜组的远离空间光调制器的一侧；第二倍率透镜，第二倍率透镜的成像倍率大于第一倍率透镜的成像倍率，第二倍率透镜与第二展开光路一一对应设置，第二倍率透镜设置于扩展镜组的远离光制调制器的一侧。根据本发明实施例的光学扩展模组，同一模组具有不同的倍率成像系统，提高了产品的兼容性等优点。
本发明授权光学扩展模组和具有其的光学系统在权利要求书中公布了：1.一种光学扩展模组，其特征在于，包括： 空间光调制器，所述空间光调制器构造有主成像镜头； 扩展镜组，所述扩展镜组设置于所述主成像镜头的一侧，所述扩展镜组通过所述主成像镜头以形成多个展开光路，所述展开光路包括多个第一展开光路和多个第二展开光路； 多个第一倍率透镜，所述第一倍率透镜与所述第一展开光路一一对应设置，所述第一倍率透镜设置于所述扩展镜组的远离所述空间光调制器的一侧，所述第一展开光路适于在第一曝光基底成像； 多个第二倍率透镜，所述第二倍率透镜与所述第二展开光路一一对应设置，所述第二倍率透镜设置于所述扩展镜组的远离所述空间光调制器的一侧，所述第二展开光路适于在第二曝光基底成像。
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