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龙图腾网获悉中国人民解放军国防科技大学申请的专利结合微球透镜和等效微球的超分辨三维形貌测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118705998B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410945049.8，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权结合微球透镜和等效微球的超分辨三维形貌测量装置及方法是由陈善勇;戴一帆;陈威威;薛帅;熊玉朋;刘俊峰设计研发完成，并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本结合微球透镜和等效微球的超分辨三维形貌测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种结合微球透镜和等效微球的超分辨三维形貌测量装置及方法，该装置包括光束生成单元、分光棱镜、第一显微物镜、微球透镜、第二显微物镜、等效微球、平面标准镜、CCD相机以及数据处理单元；分光棱镜将光束生成单元生成的白光分成测量光束和参考光束，测量光束经第一显微物镜和微球透镜聚焦至待测样本表面，经待测样本反射后返回分光棱镜，参考光束经第二显微物镜和等效微球聚焦至平面标准镜，经平面标准镜反射后返回分光棱镜，在分光棱镜处发生干涉，由CCD相机采集形成干涉图样，数据处理单元对干涉图样进行数据处理获得待测样本的超分辨三维形貌分布。本发明能够结合微球透镜和等效微球实现超分辨、高精度的三维形貌测量。

本发明授权结合微球透镜和等效微球的超分辨三维形貌测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种结合微球透镜和等效微球的超分辨三维形貌测量装置，其特征在于，包括光束生成单元、分光棱镜8、第一显微物镜9、微球透镜10、第二显微物镜13、等效微球14、平面标准镜15、CCD相机19以及数据处理单元；所述微球透镜10设于待测样本11的表面以用于辅助实现对待测样本的超分辨成像，所述等效微球14设于所述平面标准镜15的表面以用于对微球透镜10在测量光路引入的额外光程差进行等效补偿，所述光束生成单元用于生成白光光束，生成的所述白光光束到达所述分光棱镜8后分为测量光束和参考光束，其中测量光束经所述第一显微物镜9和微球透镜10聚焦至待测样本11表面，并经待测样本11反射后返回所述分光棱镜8，参考光束经所述第二显微物镜13和等效微球14聚焦至所述平面标准镜15，并经所述平面标准镜15的反射后返回分光棱镜8，反射后的参考光束与反射后的测量光束在所述分光棱镜8处发生干涉，由所述CCD相机19采集形成的干涉图样，所述数据处理单元通过对CCD相机19采集的干涉图样进行数据处理以获得待测样本的超分辨三维形貌分布。

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