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华南理工大学钟竞辉获国家专利权

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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种基于GNN和DRL的组合设备调度优化方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118551981B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410704659.9,技术领域涉及:G06Q10/0631;该发明授权一种基于GNN和DRL的组合设备调度优化方法是由钟竞辉;黎斌;朱笔锋设计研发完成,并于2024-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于GNN和DRL的组合设备调度优化方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于GNN和DRL的组合设备调度优化方法,包括:根据组合设备和晶圆加工信息,捕获组合设备晶圆加工的依赖关系和加工状态;根据组合设备晶圆加工的依赖关系和加工状态,构建状态变量空间和动作变量空间;根据状态变量空间和动作变量空间,构建加工状态图,并利用图神经网络GNN提取加工状态图的特征;对提取加工状态图的特征,用构建的深度强化学习DRL调度决策模型学习该特征,通过大量加工实例的训练,得到训练好的DRL调度决策模型;对实时的组合设备晶圆加工任务,通过训练好的DRL调度决策模型输出动作决策;根据动作决策对组合设备晶圆加工进行调度。本发明可实现对组合设备晶圆加工的有效调度。

本发明授权一种基于GNN和DRL的组合设备调度优化方法在权利要求书中公布了:1.一种基于GNN和DRL的组合设备调度优化方法,其特征在于,包括以下步骤: 1根据组合设备和晶圆加工信息,捕获组合设备晶圆加工的依赖关系和加工状态; 2根据组合设备晶圆加工的依赖关系和加工状态,构建状态变量空间和动作变量空间; 3根据状态变量空间和动作变量空间,构建加工状态图,并利用图神经网络GNN提取加工状态图的特征; 4对提取加工状态图的特征,用构建的深度强化学习DRL调度决策模型学习该特征,通过大量加工实例的训练,得到训练好的DRL调度决策模型; 构建的DRL调度决策模型的马尔可夫决策过程如下: 状态:对于每个决策步骤t,包括已加工步骤Lf以及未加工步骤Lw,则当前状态加工状态图Gt表示为Gt=S,Lf,Lw,S表示总决策步骤集合;当Lf为空集时,表示刚开始加工,当Lw为空集时,表示已完成加工;对于每个加工步骤,计算其选择后对应的完成时间,假设在决策步骤t选择第i个晶圆的第j个加工步骤γi,j,则对应加工模块的完工时间PMγi,j加上对应的任务时长Пi,j实现对PMγi,j的更新,即为PMγi,j=PMγi,j+Пi,j; 动作:对于决策步骤t,因为晶圆加工其有固定工艺,连续的工艺对应晶圆的加工路线,只有当前序步骤加工完成才能够进行后一个加工步骤的加工,因此每次决策需要选出合格操作At,其中每个晶圆在决策步骤t时最多只能有一个晶圆工艺步骤被选择,并且随着越来越多的步骤完成,At会变得越来越小; 状态转移:对于决策步骤t,每次选择合格操作At后,对Gt=S,Lf,Lw进行更新,重复动作选择过程,直到完成加工; 奖励:奖励目标是最小化完工时间,因此在决策步骤t决策合格操作At时,根据当前加工模块的完工时间PMAt-1以及选取At后的完工时间PMAt,计算选取每个合格操作的奖励RtAt,为RtAt=PMAt-PMAt-1,RtAt越小意味着当前步骤选择该操作的完工时间最小,即最小化该奖励; 策略:对于决策步骤t的当前状态加工状态图Gt,随机策略θGt输出合格操作At的动作概率分布PAt; 5对实时的组合设备晶圆加工任务,通过训练好的DRL调度决策模型输出动作决策,即调度决策结果; 6根据调度决策结果对组合设备晶圆加工进行调度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华南理工大学,其通讯地址为:510640 广东省广州市天河区五山路381号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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