厦门建霖健康家居股份有限公司罗勇获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门建霖健康家居股份有限公司申请的专利一种用于真空镀膜的靶材座组件及真空镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118460973B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410489124.4，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种用于真空镀膜的靶材座组件及真空镀膜设备是由罗勇设计研发完成，并于2024-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于真空镀膜的靶材座组件及真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于真空镀膜的靶材座组件及真空镀膜设备，所述靶材座组件在靶座上设置有上绝缘套和下绝缘套，所述上绝缘套和所述下绝缘套上设置有第一台阶和第二台阶，所述第二台阶比所述第一台阶长，且所述上绝缘套的上端面高于所述靶座的上端面；其在所述靶材与所述靶座固定连接压紧置于碳膜时，在所述靶材压力作用下所述第二台阶能发生弹性变形，以使所述上绝缘套的上端面始终与所述靶材的下端面紧密贴合；如此能有效保证在尺寸存在偏差时进行补偿，以避免绝缘套把靶材顶死导致碳膜松动的情况，以及避免绝缘套和靶材之间存在间隙，造成短路的现象；同时既能保证了绝缘套的通用性，也延长了其使用周期。
本发明授权一种用于真空镀膜的靶材座组件及真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种用于真空镀膜的靶材座组件,包括用于固定和支撑靶材的靶座，其特征在于，还包括有上绝缘套和下绝缘套； 所述靶座的外侧设置有外台阶；所述下绝缘套的上端内侧向上凸起形成第一台阶；所述上绝缘套的下端外侧向下凸起形成第二台阶；所述下绝缘套和所述上绝缘套依次套设于所述靶座的外周，所述下绝缘套的下端面与所述外台阶的端面抵接；所述第二台阶套设于所述第一台阶上，且所述第二台阶的下端面与所述下绝缘套的上端面抵接；所述第二台阶比所述第一台阶长，且所述上绝缘套的上端面高于所述靶座的上端面，所述第二台阶被配置为：在所述靶材与所述靶座固定连接压紧置于碳膜时，在所述靶材压力作用下发生弹性变形，以使所述上绝缘套的上端面始终与所述靶材的下端面紧密贴合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人厦门建霖健康家居股份有限公司，其通讯地址为：361021 福建省厦门市集美区天凤路69号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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