电子科技大学陶伯万获国家专利权
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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利用于液态有机源的紧凑型MOCVD高温快速沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117987805B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410027833.0，技术领域涉及：C23C16/448；该发明授权用于液态有机源的紧凑型MOCVD高温快速沉积装置是由陶伯万;田鸿博;赵睿鹏;陈曦设计研发完成，并于2024-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于液态有机源的紧凑型MOCVD高温快速沉积装置在说明书摘要公布了：用于液态有机源的紧凑型MOCVD高温快速沉积装置，涉及化学气相沉积技术。本发明包括反应室、喷淋装置和沉积台，其特征在于，反应室内设置有雾化装置和蒸发室，所述蒸发室具有温度调节装置，蒸发室为具有出口的半封闭结构；所述雾化装置具有进液管和进气管，雾化装置的出口设置于蒸发室内部；蒸发室的出口设置于靠近沉积台的一侧设置，蒸发室出口处有喷淋板。本发明提高了设备的稳定性，且更易维护。
本发明授权用于液态有机源的紧凑型MOCVD高温快速沉积装置在权利要求书中公布了：1.用于液态有机源的紧凑型MOCVD高温快速沉积装置，包括反应室、喷淋装置和沉积台，其特征在于，反应室内设置有雾化装置和蒸发室，所述蒸发室具有温度调节装置，蒸发室为具有出口的半封闭结构；所述雾化装置具有进液管和进气管，雾化装置的出口设置于蒸发室内部；蒸发室的出口设置于靠近沉积台的一侧设置，蒸发室出口处有喷淋板；所述雾化装置的进液管和进气管按照同心套管方式设置，进液管设置于进气管内部，进气管的管径向雾化装置的出口逐渐收敛；蒸发室内设置有带孔的分散隔板，分散隔板将蒸发室分割为雾化区和喷淋区，分散隔板和喷淋板之间为喷淋区，雾化装置的出口位于雾化区；所述蒸发室为圆筒状，雾化装置穿过封闭的圆筒顶面置入圆筒内部，圆筒底面为喷淋板；蒸发室与沉积台距离可调，薄膜高温快速沉积过程中只需对沉积台加热。
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