长电集成电路(绍兴)有限公司符海军获国家专利权
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龙图腾网获悉长电集成电路(绍兴)有限公司申请的专利一种晶圆级助焊剂清洗装置以及清洗方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117619794B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311596149.6,技术领域涉及:B08B3/02;该发明授权一种晶圆级助焊剂清洗装置以及清洗方法是由符海军;夏剑;冯京;林煜斌设计研发完成,并于2023-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆级助焊剂清洗装置以及清洗方法在说明书摘要公布了:本申请涉及晶圆清洗设备的技术领域,涉及一种晶圆级助焊剂清洗装置以及清洗方法,尤其是涉及一种晶圆级助焊剂清洗装置,包括承载台,所述承载台上侧活动设置有清洗架;所述清洗架上设置有清洗管路,所述清洗管路上设置有若干喷嘴,且所述清洗管路周向转动设置在清洗架上,以调节喷嘴与承载台之间的夹角。具有以下有益效果:改变两者的相对运动关系,将清洗架设置为运动,这样只需运动清洗架便能够对承载台上的晶圆进行清洗,同时为了能够更好的清洗助焊剂,将清洗管路设置为转动,以便于调整喷嘴的喷液角度,可通过调节从而将助焊剂进行清洗。
本发明授权一种晶圆级助焊剂清洗装置以及清洗方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆级助焊剂清洗装置,包括承载台100,其特征在于:所述承载台100上侧活动设置有清洗架110; 所述清洗架110上设置有清洗管路111,所述清洗管路111上设置有若干喷嘴112,且所述清洗管路111周向转动设置在清洗架110上,以调节喷嘴112与承载台100之间的夹角; 所述清洗管路111上活动设置有遮挡环120,所述遮挡环120用于阻挡于喷嘴112喷液口前,所述清洗管路111上设置有用于驱使遮挡环120转动的驱动件,所述遮挡环120具有圆弧形的敞口孔123; 所述遮挡环120包括间隔设置的两个环形架121和组合弧形片122,所述环形架121转动设置于清洗架110,所述组合弧形片122覆盖环形架121之间间隙以形成所述敞口孔123; 所述组合弧形片122具有两个,两个所述组合弧形片122部分重叠且相对沿弧形滑动,以调节敞口孔123延伸的长度。
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