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龙图腾网获悉新毅东(上海)科技有限公司申请的专利一种循环除尘式晶圆移动设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117133696B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311096454.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种循环除尘式晶圆移动设备是由张琪;符友银;孙昭亮设计研发完成，并于2023-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种循环除尘式晶圆移动设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种循环除尘式晶圆移动设备，包括：底座和用于安装传送装置的支架，晶圆放置于传送装置处，支架通过底板与底座转动连接，支架高度方向两侧对称分布两个除尘仓，传送装置设置于两个除尘仓之间，传送装置带动晶圆沿支架的高度方向位移；支架包括底板和顶板，两个除尘仓的顶端和底端分别与顶板和底板固定，两个除尘仓靠近传送装置一侧分别设置多个第一除尘风机，底板对称开设两个除尘口，两个除尘口位于两个除尘仓内；两个除尘仓相互远离一侧设置为弧度相同的两块弧形板，传送装置的长度小于弧形板的宽度。本发明用以解决现有技术中由于空气紊流导致未经除尘的空气中存在的颗粒杂质附着至晶圆表面甚至后续导致晶圆报废的问题。

本发明授权一种循环除尘式晶圆移动设备在权利要求书中公布了：1.一种循环除尘式晶圆移动设备，其特征在于，包括：底座和用于安装传送装置的支架，晶圆放置于所述传送装置处，所述支架通过底板与底座转动连接，所述支架高度方向两侧对称分布两个除尘仓，所述传送装置设置于两个除尘仓之间，所述传送装置带动晶圆沿支架的高度方向位移； 所述支架包括底板和顶板，两个所述除尘仓的顶端和底端分别与顶板和底板固定，两个所述除尘仓靠近传送装置一侧分别设置多个第一除尘风机，所述底板对称开设两个除尘口，两个所述除尘口位于两个所述除尘仓内； 两个所述除尘仓相互远离一侧设置为弧度相同的两块弧形板，所述传送装置的长度小于弧形板的宽度； 两个所述除尘仓相互靠近一侧分别连接一安装室，一个所述安装室内沿支架高度方向设置带动传送装置沿支架高度方向位移的升降组件，所述传送装置通过连接组件与所述升降组件相连； 所述传送装置包括晶圆承托部和平移装置，所述平移装置包括安装板和平移传送带，所述安装板固定连接于所述连接组件的顶面，所述平移传送带沿安装板的长度方向设置，所述晶圆承托部通过连接件与平移传送带相连，所述晶圆承托部位于所述安装板上方； 所述连接组件包括第一连接板、第二连接板以及两个加固板，所述第一连接板与第二连接板相互平行，两个所述加固板两端与第一连接板和第二连接板均垂直固定，所述第一连接板和第二连接板分别与所述升降组件相连； 所述第一连接板和第二连接板分别连接一第二除尘风机，两个所述第二除尘风机位于两个所述加固板之间，所述安装板开设多个通风口，所述底板位于升降组件下方连接多个第三除尘风机，所述第三除尘风机位于所述安装室内，启动所述第二除尘风机和第三除尘风机以使混合颗粒污染物的空气经过通风口、两个加固板之间以及安装室后由所述支架内排出。

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