拉普拉斯新能源科技股份有限公司朱太荣获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利导电载具及半导体加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117026214B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311005003.X，技术领域涉及：C23C16/50；该发明授权导电载具及半导体加工设备是由朱太荣;刘群;林佳继设计研发完成，并于2023-08-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本导电载具及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本发明属于光伏材料加工设备技术领域，公开了一种导电载具及半导体加工设备。该导电载具能够连接于射频电源，并使电池片处于射频电场中，包括载具本体和导电结构。该载具本体包括载片部和多组导电部，该载片部能够承托该电池片，多组导电部分别设置于载片部的周侧；该导电结构能够与射频电源电连接，多组该导电部分别电连接于该导电结构，多组该导电部中的一部分或全部能够对该载片部进行射频馈入。该导电载具能够实现多向射频馈入效果，进而提升射频电场的分布均匀性，提升镀膜效果。
本发明授权导电载具及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.导电载具，其特征在于，能够连接于射频电源，并使电池片处于射频电场中，所述导电载具包括： 载具本体100，所述载具本体100包括载片部和多组导电部，所述载片部能够承托所述电池片，多组所述导电部分别设置于所述载片部的周侧； 导电结构200，所述导电结构200能够与所述射频电源电连接，多组所述导电部分别电连接于所述导电结构200，多组所述导电部中至少一部分能够对所述载片部进行射频馈入； 所述载片部包括多个正极载具片110和多个负极载具片120，所述正极载具片110和所述负极载具片120交替并间隔设置，相邻的所述正极载具片110和所述负极载具片120之间形成载片空间，所述载片空间用于放置所述电池片； 所述导电部包括正极导电杆130和负极导电杆140，所述正极导电杆130和所述负极导电杆140间隔设置于所述载片部的侧部，并分别电连接于所述导电结构200，所述正极导电杆130电连接于多个所述正极载具片110，所述负极导电杆140电连接于多个所述负极载具片120。
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