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龙图腾网获悉江苏高光半导体材料有限公司申请的专利一种掩膜框架及其制作方法、掩膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117026151B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311130902.2，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权一种掩膜框架及其制作方法、掩膜装置是由张蔡星;钱超;王明芳设计研发完成，并于2023-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掩膜框架及其制作方法、掩膜装置在说明书摘要公布了：本发明提出的一种掩膜框架及其制作方法、掩膜装置，涉及金属掩膜版技术领域。该掩膜框架包括若干金属条和销块，金属条的两端均具有凹槽；金属条依次首尾相抵接围成矩形框架，任意两个相抵接金属条的相抵接端具有的凹槽相结合形成销槽；销块具有与销槽相适配的形状和尺寸，销块安装入销槽内；销块与金属条以及金属条与金属条在相接处彼此焊接，得到掩膜框架。本发明中，构成掩膜框架的金属条彼此抵接后，借助销块将金属条彼此锁定在一起，在后续焊接时，无需对各金属条进行额外的固定，且能够保证金属条之间彼此不产生相对运动，使焊缝均匀一致，提高掩膜框架的质量。

本发明授权一种掩膜框架及其制作方法、掩膜装置在权利要求书中公布了：1.一种掩膜框架，其特征在于，包括： 若干金属条1，依次首尾相抵接围成矩形框架，金属条1的两端均具有凹槽100，任意两个相抵接金属条1的相抵接端具有的凹槽100相结合形成销槽10； 凹槽100具有窄部101和宽部102，任意凹槽100的宽部102较窄部101远离与其相结合的另一凹槽100，两个凹槽100结合形成的销槽10呈现为中间窄两端宽；以及 若干销块2，销块2具有与销槽10相适配的形状和尺寸，且容纳于销槽10内； 销块2与金属条1以及金属条1与金属条1在相接处彼此焊接； 其中， 选用由原料板材加工一体成型的掩膜框架后剩余的余料制作成金属条1， 在金属条1的两端开设凹槽100时，将两个金属条1以组成掩膜框架的方式相互抵接，在两金属条1的抵接处一次性加工出预定的销槽10， 制作销块2时，使用尺寸不足以加工成金属条1的小块余料，根据预先设置的两金属条1上的凹槽100接合形成的销槽10，加工成与之相适配的销块2，控制销块2与销槽10的单边配合间隙为0.05mm～0.1mm， 采用双面焊接方式进行所述焊接，控制焊接深度为金属条1厚度的一半，先将矩形框架朝上的面上的各接缝焊接好，然后将矩形框架翻面，控制同样的焊接深度对翻转上来的另一面上的接缝进行焊接； 其中，凹槽100沿金属条1厚度方向上的深度为金属条1厚度的一半，销块2装入销槽10后，在矩形框架上下两个表面形成不同的接缝，一个表面的接缝包含销块2与凹槽100边缘的接缝和位于这部分接缝两侧的由两个金属条1对接产生的接缝，另一个表面上的接缝完全为两个金属条1对接产生的接缝，对所述两个表面的所述接缝分别进行焊接，在所述上下两个表面形成不同的焊缝。

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