光驰科技(上海)有限公司张波获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种基于镀膜装置的镀膜方法、系统及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116988033B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210450111.7，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权一种基于镀膜装置的镀膜方法、系统及介质是由张波;吴凯;耿生煌;王德智;余龙设计研发完成，并于2022-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于镀膜装置的镀膜方法、系统及介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于镀膜装置的镀膜方法、系统及介质。该镀膜装置包括驱动模块，所述驱动模块用于驱动多个工件同时自转，该镀膜方法包括：获取工件处于原点位置时的偏转角度，根据所述偏转角度，获取所述工件的补偿时间，根据所述补偿时间，发送控制靶材电源放电的触发信号。本发明根据工件处于原点位置的偏转角度，获取该工件的补偿时间，进而延迟发送控制靶材电源放电的触发信号，保证了不同工件在不同工位下同角度输出触发信号，满足了工艺需求。
本发明授权一种基于镀膜装置的镀膜方法、系统及介质在权利要求书中公布了：1.一种基于镀膜装置的镀膜方法，其特征在于，所述镀膜装置包括驱动模块，所述驱动模块用于驱动多个工件同时自转； 所述镀膜方法包括： 获取工件处于原点位置时的偏转角度； 根据所述偏转角度，获取所述工件的补偿时间； 根据所述补偿时间，发送控制靶材电源放电的触发信号。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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