佳能特机株式会社相泽雄树获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利成膜装置及其检查方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116497345B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211622059.5，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权成膜装置及其检查方法是由相泽雄树设计研发完成，并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜装置及其检查方法在说明书摘要公布了：本发明涉及成膜装置及其检查方法，提供高精度地检测来自成膜装置的大气箱的泄漏的技术。使用如下的成膜装置，所述成膜装置具备：大气箱，其配置在真空腔室内，且内部被保持为大气环境；第一供给部件，其向位于大气箱的多个部位的、大气箱的内部的大气泄漏的泄漏部位的候补中的一个部位供给氦气；第二供给部件，其向多个部位中的未被供给氦气的部位供给与氦气不同的气体；以及判定部件，其判定是否从被第一供给部件供给氦气且被第二供给部件供给不同的气体的大气箱检测到泄漏的氦气。
本发明授权成膜装置及其检查方法在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，其特征在于，所述成膜装置具备： 大气箱，所述大气箱配置在真空腔室内，且内部被保持为大气环境； 第一供给部件，所述第一供给部件向位于所述大气箱的多个部位并且用于从所述大气箱的内部贯通到外部地配置的构件的多个贯通孔中的至少任一个即所述大气箱的内部的大气泄漏的泄漏部位的候补中的一个部位供给氦气； 第二供给部件，所述第二供给部件向所述多个部位中的未被供给氦气的部位供给比氦气重的气体； 检测部件，所述检测部件包含在所述多个贯通孔中的每一个配置有至少一个的多个探头和从所述多个探头收集到的气体中检测氦气的探测器，在由所述第一供给部件供给氦气并且由所述第二供给部件供给比所述氦气重的气体的所述大气箱的内部的大气泄漏的情况下，对从所述大气箱泄漏的氦气进行检测；以及 判定部件，所述判定部件基于所述检测部件的检测信息，对从由所述第一供给部件供给氦气并且由所述第二供给部件供给比所述氦气重的气体的所述大气箱泄漏的氦气进行检测，由此，判定是否在与被供给氦气的部位对应的所述贯通孔产生了泄漏。
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