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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种镀膜基板装载架及镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116265603B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111553533.9，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权一种镀膜基板装载架及镀膜设备是由戴晓东;马淑莹设计研发完成，并于2021-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种镀膜基板装载架及镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明属于真空镀膜技术领域，公开了一种镀膜基板装载架及镀膜设备，其包括骨架盘、调节组件和装载板，骨架盘包括平行间隔设置的两个安装盘，外部驱动机构能够驱动骨架盘绕安装盘的中心线转动；调节组件包括固定板，至少一个固定板设置于至少其中一个安装盘上，固定板和安装盘两者中的一个上具有多个安装位，固定板通过不同安装位安装于安装盘时，能够使固定板沿安装盘的径向位于不同的安装位置，骨架盘和调节组件均设置于工艺腔内；装载板用于装载基板，装载板连接于固定板朝向工艺腔的内壁的一端。本发明的镀膜基板装载架及镀膜设备，兼容不同曲面曲率的基板，降低了生产成本。

本发明授权一种镀膜基板装载架及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种镀膜基板装载架，其特征在于，包括： 骨架盘1，包括平行间隔设置的两个安装盘11，外部驱动机构100能够驱动所述骨架盘1绕所述安装盘11的中心线转动； 调节组件2，包括固定板21，至少一个所述固定板21设置于至少其中一个所述安装盘11上，所述固定板21和所述安装盘11两者中的一个上具有多个安装位，所述固定板21通过不同安装位安装于所述安装盘11时，能够使所述固定板21沿所述安装盘11的径向位于不同的安装位置，所述骨架盘1和所述调节组件2均设置于工艺腔内； 装载板3，用于装载基板，所述装载板3连接于所述固定板21朝向工艺腔的内壁200的一端； 所述固定板21包括呈L型设置的第一安装板211和第二安装板212，所述第一安装板211连接于所述安装盘11且所述安装位设置于所述第一安装板211上，所述第二安装板212连接于所述装载板3； 所述调节组件2设置有多组，多组所述调节组件2沿所述安装盘11的圆周方向间隔排布； 所述调节组件2包括两个所述固定板21，两个所述固定板21分别安装于两个所述安装盘11。

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