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龙图腾网获悉赛迪工业和信息化研究院集团(苏州)有限公司申请的专利探针卡基板、探针卡及晶圆测试系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116068240B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211723250.9，技术领域涉及：G01R1/06；该发明授权探针卡基板、探针卡及晶圆测试系统是由蔡瑞青;柳炯;朱俊汇;高晋岩设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本探针卡基板、探针卡及晶圆测试系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种探针卡基板、探针卡及晶圆测试系统，属于晶圆测试技术领域。当前技术不能补偿探针卡基板的电源PAD连接到被测晶圆的电源PAD过程中产生的电压损耗，导致被测晶圆电源PAD的供电电压不够准确。本申请将测试机电源DPS分为force端子和sense端子来提供电压。同时，将探针卡基板的电源PAD和各自对应的供电探针分成不相连的两组，分别连接到force端子和sense端子。测试时，探针接触晶圆电源PAD，force端子和sense端子将在被测晶圆端短接。此时，短接点位置最靠近force端子和被测器件的连接点，force提供给被测器件的电压可以更加准确。

本发明授权探针卡基板、探针卡及晶圆测试系统在权利要求书中公布了：1.一种探针卡，其特征在于， 包括探针卡基板、探针和绝缘固定材料， 所述探针卡基板包括第一表面及第二表面；其中，第一表面面对测试机，第二表面面对晶圆的待测表面；基板上源自同一电源的电源PAD分成两组，第一组电源PAD包括一个电源PAD，第二组电源PAD为其余电源PAD；其中，第一组电源PAD内部短接，用于连接到测试机供电电源DPS的sense端子；第二组电源PAD内部短接，用于连接到测试机供电电源DPS的force端子；基板的GNDPAD连接到测试机的GND资源； 所述探针一端为固定端，固定端通过绝缘固定材料固定在基板的第二表面，所述固定端用于连接基板上的PAD；探针另一端为自由端，自由端用于测试时接触被测晶圆上的待测表面； 所述探针中，包括：用于连接基板GNDPAD的至少一根探针， 连接探针卡基板电源PAD的供电探针； 其中，供电探针分为两组，第一组包括一根探针，用于连接基板上的第一组电源PAD，连接到sense端子；第二组为剩余探针，用于连接探针卡基板上的第二组电源PAD，连接到force端子； 测试时，所述探针卡上的所有探针的自由端都接触到待测晶圆的待测表面，其中，供电探针连接到晶圆的电源PAD；而晶圆一颗die上同一电源的PAD在晶圆内部结构是相连接的；此时，测试机的force和sense经由探针卡上基板的电源PAD、探针和晶圆电源PAD，实现在晶圆端的短接。

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