中芯南方集成电路制造有限公司杨勇获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯南方集成电路制造有限公司申请的专利一种金属连线电性测试结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115910822B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110945206.1，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种金属连线电性测试结构是由杨勇设计研发完成，并于2021-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种金属连线电性测试结构在说明书摘要公布了：本申请提供一种金属连线电性测试结构，包括：测试主体，包括：至少一个第一金属连线，沿第一方向依次排列，所述第一金属连线的两端表面形成有第一通孔；至少一个第二金属连线，沿第二方向依次排列，所述第二金属连线的两端表面形成有第二通孔，所述至少一个第二金属连线与所述至少一个第一金属连线对应设置；第一焊垫，位于所述测试主体的一侧，通过第一金属连接结构与所述第一通孔或第二通孔电连接；第二焊垫，位于所述测试主体的另一侧，通过第二金属连接结构与所述第一通孔或第二通孔电连接。本申请通过巧妙的金属连线分布，利用最有时效性的电性测试，可以有针对性的测试相同结构和不同结构的金属连线之间的漏电情况。
本发明授权一种金属连线电性测试结构在权利要求书中公布了：1.一种金属连线电性测试结构，其特征在于，包括： 测试主体，包括： 多个第一金属连线，沿第一方向依次排列，所述第一金属连线的两端表面形成有第一通孔； 多个第二金属连线，沿第二方向依次排列，所述第二金属连线的两端表面形成有第二通孔，所述多个第二金属连线与所述多个第一金属连线对应设置，所述多个第一金属连线和所述多个第二金属连线位于同一层； 第一焊垫，位于所述测试主体的一侧，通过第一金属连接结构与所述第一通孔或第二通孔电连接； 第二焊垫，位于所述测试主体的另一侧，通过第二金属连接结构与所述第一通孔或第二通孔电连接； 所述电性测试结构用于测试相邻第一金属连线之间的漏电情况或者相邻第二金属连线之间的漏电情况或者第一金属连线和第二金属连线之间的漏电情况。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯南方集成电路制造有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区自由贸易试验区张江路18号3号楼5楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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