应用材料公司F·斯李维亚获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于处理基板的方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115485807B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180032818.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于处理基板的方法及设备是由F·斯李维亚;R·福韦尔;张纯磊设计研发完成，并于2021-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的方法及设备在说明书摘要公布了：用于控制处理腔室中的部件的温度的方法与设备，所述处理腔室中的所述部件由等离子体或加热器加热并且由通过热交换器的冷却剂流冷却。例如，一种设备可以包括：包含相应冷却板的吸盘组件和或等离子体源；比例式旁通阀，所述比例式旁通阀连接在相应冷却板与热交换器之间；温度传感器，所述温度传感器被配置成测量通过相应冷却板的出口通道的冷却剂的温度；以及控制器，所述控制器接收来自温度传感器测量的所测量的温度，以及响应于接收到所测量的温度，来控制通过比例式旁通阀的第一冷却剂输出管线和第二冷却剂输出管线的冷却剂的流速。
本发明授权用于处理基板的方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种处理腔室，包括： 吸盘组件或等离子体源中的至少一者，所述吸盘组件或所述等离子体源中的所述至少一者包含相应冷却板，所述相应冷却板包含冷却剂通道，所述冷却剂通道具有入口通道与出口通道，所述入口通道耦接至热交换器的冷却剂供应管线，所述出口通道耦接至所述热交换器的冷却剂返回管线； 比例式旁通阀，所述比例式旁通阀连接在所述相应冷却板和所述热交换器之间，且所述比例式旁通阀包含冷却剂输入管线、第一冷却剂输出管线和第二冷却剂输出管线，所述冷却剂输入管线连接至所述冷却剂供应管线，所述第一冷却剂输出管线连接至所述相应冷却板的所述入口通道，所述第二冷却剂输出管线连接至所述冷却剂返回管线； 温度传感器，所述温度传感器被配置成测量通过所述相应冷却板的所述出口通道的冷却剂的温度；以及 控制器，所述控制器接收来自所述温度传感器测量的所测量的温度，以及响应于接收到所述所测量的温度，来控制通过所述比例式旁通阀的所述第一冷却剂输出管线和所述第二冷却剂输出管线的所述冷却剂的流速。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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