应用材料公司崔琳锳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于在等离子体处理装置中的边缘环处操纵功率的设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115088054B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080096550.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于在等离子体处理装置中的边缘环处操纵功率的设备和方法是由崔琳锳;J·罗杰斯设计研发完成，并于2020-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于在等离子体处理装置中的边缘环处操纵功率的设备和方法在说明书摘要公布了：本申请提供用于处理定位于基板支撑组件上的基板的方法和设备。例如，基板支撑组件包括：静电吸盘，静电吸盘具有嵌入其中的一个或多个吸附电极，一个或多个吸附电极用于将基板吸附至静电吸盘的基板支撑表面；边缘环，边缘环设置在静电吸盘上且围绕基板支撑表面；两个或更多个射频RF功率源、以及设置在静电吸盘下方的基底板或设置在静电吸盘中的电极中的至少一个，所述两个或更多个射频RF功率源耦接到边缘环；匹配网络，匹配网络将边缘环耦接到两个或更多个RF功率源；以及RF电路，RF电路将边缘环耦接到两个或更多个RF功率源，RF电路经配置以同时调谐两个或更多个RF功率源的各个信号的RF振幅或RF相位中的至少一个。
本发明授权用于在等离子体处理装置中的边缘环处操纵功率的设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种基板支撑组件，包括： 静电吸盘，所述静电吸盘具有嵌入所述静电吸盘中的一个或多个吸附电极，所述一个或多个吸附电极用于将基板吸附至所述静电吸盘的基板支撑表面； 边缘环，所述边缘环设置在所述静电吸盘上且围绕所述基板支撑表面； 两个或更多个射频RF功率源、以及设置在所述静电吸盘下方的基底板或设置在所述静电吸盘中的电极中的至少一个，所述两个或更多个射频RF功率源耦接到所述边缘环； 匹配网络，所述匹配网络将所述边缘环耦接到所述两个或更多个RF功率源；以及 RF电路，所述RF电路将所述边缘环耦接到所述两个或更多个RF功率源，所述RF电路经配置以使用两个或更多个彼此并联连接并设置在所述两个或更多个RF功率源和所述边缘环之间的电路块来同时调谐所述两个或更多个RF功率源的各个信号的RF振幅或RF相位中的至少一个。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励