昭和电工材料株式会社久木田友美获国家专利权
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龙图腾网获悉昭和电工材料株式会社申请的专利研磨液、研磨液组及研磨方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115039203B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180005850.9，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权研磨液、研磨液组及研磨方法是由久木田友美;岩野友洋;长谷川智康设计研发完成，并于2021-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨液、研磨液组及研磨方法在说明书摘要公布了：一种研磨液，其含有磨粒、选自由羟基酸及其盐组成的组中的至少一种羟基酸成分及化合物Z，化合物Z具有可以被取代的烃基及聚氧亚烷基，由下述通式1表示的Z值为20以上。Z＝0.1×a2×bc…1，[式1中，a表示所述烃基的碳原子数，b表示化合物Z中的氧亚烷基的总数，c表示化合物Z的HLB值。]。
本发明授权研磨液、研磨液组及研磨方法在权利要求书中公布了：1.一种研磨液，其含有磨粒、选自由羟基酸及其盐组成的组中的至少一种羟基酸成分及化合物Z， 所述磨粒包含铈氧化物， 以所述磨粒整体为基准，所述铈氧化物的含量超过50质量％， 所述化合物Z具有可以被取代的烃基及聚氧亚烷基， 由下述通式1表示的Z值为20以上， Z＝0.1×a2×bc…1 式1中，a表示所述烃基的碳原子数，b表示所述化合物Z中的氧亚烷基的总数，c表示所述化合物Z的HLB值。
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