嘉兴景焱智能装备技术有限公司佘奕获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴景焱智能装备技术有限公司申请的专利双头固晶装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115020296B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210669561.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权双头固晶装置是由佘奕设计研发完成，并于2022-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本双头固晶装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体晶片处理设备技术领域，公开了一种双头固晶装置，包括固定连接板，所述固定连接板下方通过设置横向直线驱动模块连接横梁基座，所述横梁基座下安装纵向直线驱动模块，在纵向直线驱动模块前下方的动子上连接矩形音圈垂直升降模块，矩形音圈垂直升降模块的音圈电机的两个动子分别连接一套固晶头，纵向直线驱动模块包括多个拼接而成的定子机构，在纵向直线驱动模块的下方设置浮动定子减振模块，所述矩形音圈垂直升降模块驱动固晶头垂直升降，所述纵向直线驱动模块驱动矩形音圈垂直升降模块纵向位移，所述横向直线驱动模块驱动横梁基座横向位移。本发明通过吊装式结构，使XY位移模块占用空间更少，减少不必要的位移，提高贴装效率。
本发明授权双头固晶装置在权利要求书中公布了：1.一种双头固晶装置，其特征在于：包括固定连接板，所述固定连接板下方通过设置横向直线驱动模块连接横梁基座，所述横梁基座下安装纵向直线驱动模块，在纵向直线驱动模块前下方的动子上连接矩形音圈垂直升降模块，所述矩形音圈垂直升降模块的音圈电机的两个动子分别连接一套固晶头，所述纵向直线驱动模块包括多个拼接而成的定子机构，在纵向直线驱动模块的下方设置浮动定子减振模块，所述矩形音圈垂直升降模块驱动固晶头垂直升降，所述纵向直线驱动模块驱动矩形音圈垂直升降模块纵向位移，所述横向直线驱动模块驱动横梁基座横向位移，使所述固晶头实现XYZ三维方向的移动晶圆操作，所述横向直线驱动模块包括设置在固定连接板与横梁基座之间的直线电机、龙门推板和限位组件，所述横梁基座与固定连接板的长宽尺寸相匹配，所述纵向直线驱动模块下方设置电机支撑座，所述矩形音圈垂直升降模块安装在电机支撑座上，所述电机支撑座的后侧设置缓冲组件。
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