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凸版印刷株式会社明野康刚获国家专利权

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龙图腾网获悉凸版印刷株式会社申请的专利固体拍摄元件用滤光器的制造方法以及固体拍摄元件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114586158B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080072980.X,技术领域涉及:H10F39/12;该发明授权固体拍摄元件用滤光器的制造方法以及固体拍摄元件的制造方法是由明野康刚;岩田玲子;平井友梨设计研发完成,并于2020-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

固体拍摄元件用滤光器的制造方法以及固体拍摄元件的制造方法在说明书摘要公布了:包含如下步骤:在半导体基板上形成彩色滤光器;在半导体基板以及彩色滤光器上形成蚀刻阻挡层;在蚀刻阻挡层上形成红外光截止前驱层;形成将红外光截止前驱层中的位于彩色滤光器上的部分覆盖的抗蚀剂图案;以及利用抗蚀剂图案对红外光截止前驱层进行干蚀刻而形成红外光截止滤光器,干蚀刻的红外光截止前驱层的蚀刻速率与蚀刻阻挡层的蚀刻速率不同。

本发明授权固体拍摄元件用滤光器的制造方法以及固体拍摄元件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种固体拍摄元件用滤光器的制造方法,其中, 所述制造方法包含如下步骤: 在半导体基板上形成彩色滤光器; 在所述半导体基板以及所述彩色滤光器上形成蚀刻阻挡层; 在所述蚀刻阻挡层上形成红外光截止前驱层; 形成将所述红外光截止前驱层中的位于所述彩色滤光器上的部分覆盖的抗蚀剂图案;以及 利用所述抗蚀剂图案对所述红外光截止前驱层进行干蚀刻而形成红外光截止滤光器, 所述干蚀刻的所述红外光截止前驱层的蚀刻速率与所述蚀刻阻挡层的蚀刻速率不同, 形成所述蚀刻阻挡层的步骤包含如下步骤,即,在所述彩色滤光器上以及所述半导体基板中的不存在所述彩色滤光器的部分上,形成所述蚀刻阻挡层, 形成所述红外光截止滤光器的步骤包含如下步骤,即,对所述红外光截止前驱层以及所述蚀刻阻挡层进行干蚀刻,从而形成将所述彩色滤光器的侧面覆盖并且对入射光进行反射的隔断壁。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人凸版印刷株式会社,其通讯地址为:日本东京;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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