朗姆研究公司阿施施·索拉卜获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利用于影响衬底支撑件的温度分布轮廓的可调式和不可调式热屏获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114514602B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080067825.9，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权用于影响衬底支撑件的温度分布轮廓的可调式和不可调式热屏是由阿施施·索拉卜;卡尔·弗雷德里克·利瑟;陈欣怡;穆克什·达米·辛格;特洛伊·戈姆;蒂莫西·斯科特·托马斯;柯蒂斯·W·贝利设计研发完成，并于2020-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于影响衬底支撑件的温度分布轮廓的可调式和不可调式热屏在说明书摘要公布了：一种用于衬底支撑件的台板的热屏包括本体和吸收‑反射‑传输区域。所述吸收‑反射‑传输区域与所述本体接触，并被配置成进行下列至少一者：影响或调整介于远端基准表面与所述台板之间的热流图案的至少一部分。所述吸收‑反射‑传输区域包括可调式方面以调整所述热流图案的所述至少一部分。
本发明授权用于影响衬底支撑件的温度分布轮廓的可调式和不可调式热屏在权利要求书中公布了：1.一种用于衬底支撑件的台板的热屏，所述热屏包括： 框架； 多个吸收-反射-传输区段，其与所述框架接触并且被配置成影响介于远端基准表面与所述台板之间的热流图案的至少一部分，其中所述多个吸收-反射-传输区段包括可调式方面以调整所述热流图案的所述至少一部分；以及 其中： 所述框架包括： 中心开口，其被配置成接收所述衬底支撑件的轴，以及 多个窗部，其被配置成至少部分地被指定位置中的所述多个吸收-反射-传输区段所覆盖；以及 所述多个吸收-反射-传输区段被配置成设置在所述多个窗部中或位于所述多个窗部上方中的至少一者，并且由所述框架所保持。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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