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龙图腾网获悉佛山科学技术学院申请的专利一种IC光刻字符识别与检测装置表面成像系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496860B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210131721.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种IC光刻字符识别与检测装置表面成像系统及方法是由丁东红;黄荣;王凯;何宽芳;刘杰设计研发完成，并于2022-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种IC光刻字符识别与检测装置表面成像系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种IC光刻字符识别与检测装置表面成像系统及方法，包括“爪”型光源夹具、弧形光源夹具、相机夹紧机构、龙门架固定机构和传送机构，成像系统中，关键包括条形光光源、环形光光源、背光光源和远心镜头以及CCD工业相机，所涉及的方法关键包括芯片整体的定位，引脚的定位以及图像数据处理流程等。该IC光刻字符识别与检测装置表面成像系统及方法提出了包括光源夹具、相机夹具以及多种芯片定位识别的方法以及实现步骤，具体的光源调节使用以及相机角度的调整，需要根据实际的作业情况配合相应的视觉算法，以实现更准确、更快速以及更多种情况下适用的芯片表面光刻字符识别的功能和进一步实现芯片缺陷检测与分类的功能。

本发明授权一种IC光刻字符识别与检测装置表面成像系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种IC光刻字符识别与检测装置表面成像系统，其特征在于：所述IC光刻字符识别与检测装置包括垂直放置的“爪”型光源夹具1，侧面放置的弧形光源夹具2，具有多方位调节的相机夹紧机构3，龙门支撑架4，传送机构5； 表面成像系统中，包括条形光光源6、低角度环形光光源7、背光光源8和远心镜头9以及CCD工业相机10； 其中，相关光源是依据需求所表征的特征来控制光源的照明，即需要表征不同特征可以通过编码控制光源是否对IC样品11进行照明以及照明的亮度； 所述垂直放置的“爪”型光源夹具1首端与龙门支撑架4连接，且垂直放置的“爪”型光源夹具1整体和龙门支撑架4之间通过旋转固定块101构成左右旋转调整结构； 所述旋转固定块101通过“U”字型连接块103的连杆结构连接“爪”型光源固定架104，且“U”字型连接块103首端连接于旋转固定块101侧端一体化的“凸”型连接块102，并且垂直放置的“爪”型光源夹具1通过“凸”型连接块102可以构成俯仰角度的调节结构； 所述“U”字型连接块103末端连接有“爪”型光源固定架104，且“爪”型光源固定架104构成进一步的伸缩动作调节结构，所述“爪”型光源固定架104上均匀分布有孔洞结构，用于各种条形光光源6和环形光光源7的安装，且条形光光源6和环形光光源7用于IC样品11的照明； 所述侧面放置的弧形光源夹具2主体为弧形蜂窝板202，且弧形蜂窝板202整体呈现弧形的形态，并且弧形蜂窝板202上具有蜂窝状的固定孔，用于固定相应的背光光源8； 所述的弧形蜂窝板202与龙门支撑架4连接，且弧形蜂窝板202构成俯仰角度调节结构； 所述背光光源8与蜂窝板上的孔通过“U”型连杆201连接构成角度调节结构； 所述弧形蜂窝板202对称安装在传送机构5两旁，起到对IC样品11的对称照明效果； 所述具有多方位调节的相机夹紧机构3末端固定安装有CCD工业相机10，且具有多方位调节的相机夹紧机构3末端的机构具体由三块矩形蜂窝固定板304组成，所述矩形蜂窝固定板304具体起到固定CCD工业相机10位置的作用，且矩形蜂窝固定板304可以固定多台相机，并且CCD工业相机10与矩形蜂窝固定板304之间通过相机固定连接块303进行连接，所述相机固定连接块303构成平面旋转角度调节结构； 所述矩形蜂窝固定板304绕着中部相机固定连接块303构成旋转结构，以实现相机的空间多方位的角度调节； 所述矩形蜂窝固定板304首端连接有齿条连接导块302，且具有多方位调节的相机夹紧机构3在齿条连接导块302前端构成俯仰角度调节结构，并且齿条连接导块302末端固定连接有齿条结构； 所述齿条连接导块302末端固定有齿条结构，该齿条结构与矩形保护板相连，形成导轨结构，且齿条连接导块302末端固定的齿条结构通过齿轮齿条调节旋钮301调节齿轮齿条的行程，控制相机夹具末端的前后运动，所述具有多方位调节的相机夹紧机构3整体在龙门支撑架4处构成左右调节结构。

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