上海华力微电子有限公司田志获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力微电子有限公司申请的专利全局快门CMOS图像传感器及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114078889B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010832325.1,技术领域涉及:H10F39/18;该发明授权全局快门CMOS图像传感器及其制造方法是由田志;顾珍;邵华;陈昊瑜设计研发完成,并于2020-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本全局快门CMOS图像传感器及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种全局快门CMOS图像传感器,采用非均匀存储扩散区掺杂来降低存储点的漏电,保证随光电二极管深度增加,像素增加时,后面读取行的载流子可以全部转移到存储扩散区,并保证全局快门晶体管开启时,不引起存储扩散区中载流子的丢失,并保证逐行读出时,即便像素单元行数增加,载流子从存储扩散区也可以通过第二转移管完全转移到浮动扩散区。本发明还公开了该全局快门CMOS图像传感器的制造方法。
本发明授权全局快门CMOS图像传感器及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种全局快门CMOS图像传感器,其特征在于,其包括前后依次排列的N行像素单元,各像素单元包括依次排布的第一复位区105、全局快门晶体管M1、光电二极管、第一转移管M2、存储扩散区106、第二转移管M3、浮动扩散区108、复位管M4及第二复位区109; 所述光电二极管包括第二导电类型的半导体层101,及形成在所述半导体层101顶部的第一导电类型的第一感光掺杂区103; 所述存储扩散区106具有第一导电类型掺杂,所述第一感光掺杂区103和所述存储扩散区106之间的所述半导体层101的顶部形成有第一转移管M2的栅极结构; 所述第一复位区105具有第一导电类型掺杂,所述第一复位区105用于和电源电压连接,所述第一感光掺杂区103和所述第一复位区105之间的所述半导体层101的顶部形成有全局快门晶体管M1的栅极结构; 在所述第一感光掺杂区103的表面形成有第二导电类型掺杂的钉扎层104; 所述浮动扩散区108和所述存储扩散区106之间的所述半导体层101的顶部形成有第二转移管M3的栅极结构; 所述复位管M4的栅极结构形成在所述浮动扩散区108和第二复位区109之间; 所述第二复位区109具有第一导电类型掺杂,所述第二复位区109和电源电压连接; 所述浮动扩散区108和所述第二复位区109都形成在第二导电类型阱107中; 所述N行像素单元的前M行的存储扩散区106的第一导电类型掺杂的浓度小于剩余的后N-M行的存储扩散区106的第一导电类型掺杂的浓度,N为大于10的整数,M为小于或等于N2的正整数。
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