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龙图腾网获悉苏州康沃斯智能装备有限公司申请的专利一种晶圆涂源机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114038769B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111366096.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆涂源机是由高波设计研发完成，并于2021-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆涂源机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆涂源机，其包括机架，机架的上方从左到右依次设置有放料机构、输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和收料机构，磁力搅拌器上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶，机架上还设有第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构，第一搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到输送机构上，第二搬运机构用于将晶圆从输送机构搬运到旋转机构上，再将晶圆从旋转机构搬运到加热机构上，第三搬运机构用于将晶圆从加热机构搬运到收料机构上；本发明实现了晶圆的自动涂源、烘干和摆放，提高效率的同时，保证了产品质量，避免了人工搬运，降低工作人员工作量，同时提高了生产效率。

本发明授权一种晶圆涂源机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆涂源机，其包括机架1，机架1的上方设置有防护罩16，防护罩16上通过旋转臂安装有显示器17，其特征在于： 所述机架1的上方从左到右依次设置有放料机构2、输送机构3、溶剂涂敷机构5、旋转机构6、磁力搅拌器7、加热机构8和收料机构10，所述磁力搅拌器7上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶14，所述放料机构2、输送机构3的一侧设置有第一搬运机构4，所述输送机构3、溶剂涂敷机构5、旋转机构6、磁力搅拌器7和加热机构8的一侧设置有第二搬运机构9，所述加热机构8和收料机构10的一侧设置有第三搬运机构11，其另一侧设置有翻面机构12； 所述放料机构2和收料机构10用于储放晶圆13，所述输送机构3包括传输机31、支撑腿32、收料盒33、挡料杆34和挡料气缸35，传输机31固定在支撑腿32上，传输机31中段的外侧倾斜设置有收料盒33，所述挡料杆34和挡料气缸35相连接，挡料气缸35固定在传输机31上且与收料盒33相对； 所述第一搬运机构4用于将晶圆13从放料机构2搬运到输送机构3上，所述第二搬运机构9用于将晶圆13从输送机构3搬运到旋转机构6上，再将晶圆13从旋转机构6搬运到加热机构8上，所述第三搬运机构11用于将晶圆13从加热机构8搬运到收料机构10上； 溶剂涂敷机构5包括用于固定毛笔511的毛笔夹持头510，所述毛笔夹持头510固定在旋转升降机构上，所述旋转升降机构用于带动毛笔511到溶剂瓶14内蘸取扩散源，然后带动毛笔511移动到旋转机构6上方； 所述旋转机构6包括涂源盘61、转盘62、第一同步带轮63、第二同步带轮64和第三电机65，所述转盘62同心设置在涂源盘61内，所述转盘62下端的安装轴转动安装在涂源盘61内，所述第一同步带轮63固定在涂源盘61的安装轴上，其通过同步带与第二同步带轮64传动连接，所述第二同步带轮64固定在第三电机65的电机轴上； 所述翻面机构12包括第三直线模组121、旋转气缸122和第四安装板123，所述第三直线模组121的移动端上固定安装有旋转气缸122，所述旋转气缸122的输出端上固定安装有第四安装板123，所述第四安装板123上安装有一个晶圆夹持机构15； 所述放料机构2包括电动推杆21、固定板22、定位杆23和顶盘26，所述电动推杆21安装在固定板22的下方，其输出端从下到上穿过固定板22且与顶盘26固定相连，所述固定板22固定在机架1上，其上端固定安装有若干根成圆形阵列分布的定位杆23，所述固定板22上还对称固定有两个安装杆24，所述安装杆24的上方固定有气嘴25。

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