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龙图腾网获悉苏州康沃斯智能装备有限公司申请的专利一种晶圆加热涂源机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114005772B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111352459.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆加热涂源机是由高波设计研发完成，并于2021-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加热涂源机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆加热涂源机，其包括机架，机架的上方从左到右依次设置有放料机构、输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和收料机构，磁力搅拌器上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶，放料机构、输送机构的一侧设置有第一搬运机构，输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器和加热机构的一侧设置有第二搬运机构，加热机构的右末端和收料机构的一侧设置有第三搬运机构，其另一侧设置有翻面机构；本发明通过实现了晶圆的自动涂源，通过加热机构的设置实现了晶圆涂源后的完全烘干和冷却，保证了产品质量，再通过第三搬运机构和翻面机构，实现对晶圆的自动摆放避免了人工搬运，提高了生产效率。

本发明授权一种晶圆加热涂源机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加热涂源机，其包括机架1，机架1的上方设置有防护罩16，所述机架1由从左到右依次相连接的第一支撑台101、第二支撑台102和第三支撑台103组成，其特征在于： 所述机架1的上方从左到右依次设置有放料机构2、输送机构3、溶剂涂敷机构5、旋转机构6、磁力搅拌器7、加热机构8和收料机构10，所述磁力搅拌器7上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶14，所述放料机构2、输送机构3的一侧设置有第一搬运机构4，所述输送机构3、溶剂涂敷机构5、旋转机构6、磁力搅拌器7和加热机构8的一侧设置有第二搬运机构9，所述加热机构8的右末端和收料机构10的一侧设置有第三搬运机构11，其另一侧设置有翻面机构12； 所述放料机构2、输送机构3、第一搬运机构4、溶剂涂敷机构5、旋转机构6、磁力搅拌器7和第二搬运机构9设置在第一支撑台101上，所述加热机构8设置在第二支撑台102上，所述收料机构10、第三搬运机构11和翻面机构12设置在第三支撑台103上； 所述放料机构2和收料机构10用于储放晶圆13，所述输送机构3包括传输机31、支撑腿32、收料盒33、挡料杆34和挡料气缸35，传输机31固定在支撑腿32上，传输机31中段的外侧倾斜设置有收料盒33，所述挡料杆34和挡料气缸35相连接，挡料气缸35固定在传输机31上且与收料盒33相对； 所述第一搬运机构4用于将晶圆13从放料机构2搬运到输送机构3上，所述第二搬运机构9用于将晶圆13从输送机构3搬运到旋转机构6上，再将晶圆13从旋转机构6搬运到加热机构8上，所述第三搬运机构11用于将晶圆13从加热机构8搬运到收料机构10上； 溶剂涂敷机构5包括用于固定毛笔511的毛笔夹持头510，所述毛笔夹持头510固定在旋转升降机构上，所述旋转升降机构用于带动毛笔511到溶剂瓶14内蘸取扩散源，然后带动毛笔511移动到旋转机构6上方； 所述旋转机构6包括涂源盘61、转盘62、第一同步带轮63、第二同步带轮64和第三电机65，所述转盘62同心设置在涂源盘61内，所述转盘62下端的安装轴转动安装在涂源盘61内，所述第一同步带轮63固定在涂源盘61的安装轴上，其通过同步带与第二同步带轮64传动连接，所述第二同步带轮64固定在第三电机65的电机轴上； 所述加热机构8包括安装型材801、加热台802、冷却台803、接料杆804、凹槽805、第二气缸806、连接脚807、滑轨808、导向块809、连接块810和第三气缸811，若干个所述加热台802等距离设置在安装型材801的上端，所述安装型材801的上端还等距离设置有若干个冷却台803，所述冷却台803设置在加热台802的右端，所述加热台802和冷却台803的结构相同，其上均开设有凹槽805，所述凹槽805用于放置晶圆13以及接料杆804，所述接料杆804平行设置有两根，两根所述接料杆804的左右两端分别固定在连接块810上，所述连接块810固定在第三气缸811的输出端上端，所述安装型材801的下端固定安装有滑轨808，所述滑轨808左右滑动安装在导向块809内，导向块809和第二气缸806固定在第二支撑台102上，所述第二气缸806的活塞杆通过连接脚807与安装型材801固定连接； 所述收料机构10和放料机构2的结构相同； 所述第一搬运机构4包括安装盒41、导轨42、第一气缸43、吸盘安装座44和吸盘45，所述导轨42设置在安装盒41内，所述第一气缸43固定在安装盒41的外侧，其活塞杆伸入安装盒41内且与滑块固定相连，所述滑块左右滑动安装在所述导轨42上，所述滑块的外侧固定有吸盘安装座44，吸盘安装座44的下端固定安装有用于吸附晶圆13的吸盘45。

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