株式会社斯库林集团中根慎悟获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113903679B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110537975.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由中根慎悟;池田文彦设计研发完成，并于2021-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明的课题在于基板处理装置的维护作业变得容易。基板处理装置包括：保持面，对基板进行保持；多个升降销，从保持面突出；框构件，从下方支撑升降销且在俯视时与保持面重叠地配置；以及升降销驱动部，在俯视时配置于框构件的外周部，通过使框构件升降来使升降销升降，升降销驱动部包括：驱动源；驱动力传递机构，沿框构件的周向延伸地配置；以及多个升降机构，连结于驱动力传递机构与框构件的外周部，并使框构件升降。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 至少一个热板； 多个升降销，分别从形成在所述热板的上表面的多个贯通孔突出，且支撑基板； 框构件，从下方支撑所述多个升降销，在所述热板的下方在俯视时与所述热板重叠地配置，且外周为矩形；以及 升降销驱动部，在俯视时配置于所述框构件的外周部，且用于通过使所述框构件升降来使所述多个升降销升降，且 所述升降销驱动部包括： 旋转驱动马达，配置在所述框构件的外侧； 至少一个轴，沿所述框构件的周向延伸地配置，且与所述旋转驱动马达的驱动联动地旋转；以及 升降机构，使设置在所述轴的多个小齿轮与设置在所述框构件的外周部的多个齿条分别啮合，且通过所述旋转驱动马达的驱动使所述轴旋转而使所述框构件升降。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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